[发明专利]封装有锚定盖的微机电装置以及该装置的制造方法无效
| 申请号： | 200680030911.2 | 申请日： | 2006-08-24 |
| 公开（公告）号： | CN101248002A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | 克莱芒·查尔布伊雷特;洛朗特·戈塞特 | 申请（专利权）人： | ST微电子（克偌林斯2）SAS公司;皇家菲利浦电子有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 褚海英;陈桂香 |
| 地址： | 法国克*** | 国省代码： | 法国;FR |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种集成电路(1)，所述集成电路(1)包括：基底(2)，在所述基底(2)上方的有源元件(13)，部分地围绕所述有源元件(13)的空腔(14)，部分地围绕所述空腔(14)的低介电区(15)，以及围绕所述低介电区(15)布置的保护屏障(16)。 | ||
| 搜索关键词： | 装有 锚定 微机 装置 以及 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种集成电路(1)，所述集成电路(1)包括基底(2)和在所述基底(2)上方的有源元件(13)，其特征在于，所述集成电路(1)包括部分地围绕所述有源元件(13)的空腔(14)，部分地围绕所述空腔(14)的低介电区(15)和围绕所述低介电区(15)布置的保护屏障(16)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ST微电子（克偌林斯2）SAS公司;皇家菲利浦电子有限公司，未经ST微电子（克偌林斯2）SAS公司;皇家菲利浦电子有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200680030911.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
