[发明专利]以均匀速率蒸发材料的方法有效
| 申请号： | 200680027360.4 | 申请日： | 2006-07-20 |
| 公开（公告）号： | CN101248206A | 公开（公告）日： | 2008-08-20 |
| 发明（设计）人： | M·龙;B·E·寇佩 | 申请（专利权）人： | 伊斯曼柯达公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵苏林;韦欣华 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：从保持在低于材料的有效蒸发温度之下的温度可控区向蒸发能量源提供可蒸发材料柱，其中，在蒸发期间柱体积可以改变；以及提供向柱表面传送恒定热流的蒸发能量源，使得单位时间内均匀体积的可蒸发材料被蒸发从而在基材上成层，而与供给速率无关。 | ||
| 搜索关键词： | 均匀 速率 蒸发 材料 方法 | ||
【主权项】：
1.一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：a)从保持在低于可蒸发材料的有效蒸发温度之下的温度受控区向蒸发能量源提供可蒸发材料的柱，其中，在蒸发期间柱体积可以改变；以及b)提供向柱表面传送恒定热流的蒸发能量源，使得单位时间内均匀体积的可蒸发材料被蒸发从而在基材上成层，而与步骤a)中的供给速率无关。
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