[发明专利]以均匀速率蒸发材料的方法

权利要求书

1.一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：

a)从保持在低于可蒸发材料的有效蒸发温度之下的温度受控区向蒸发能量源提供可蒸发材料的柱，其中，在蒸发期间柱体积可以改变；以及

b)提供向柱表面传送恒定热流的蒸发能量源，使得单位时间内均匀体积的可蒸发材料被蒸发从而在基材上成层，而与步骤a)中的供给速率无关。

2.权利要求1的方法，其中，在温度受控区和蒸发能量源之间的柱长在蒸发期间可变，而柱表面的横截面积基本恒定。

3.权利要求1的方法，其中，可蒸发材料被供给处于低压条件下的室中，可蒸发材料包括有机材料，并且进一步提供与室连通的集流腔来接受可蒸发材料，该集流腔限定开口位置与基质的位置关系，从而可蒸发材料通过开口而在基材上形成层。

4.权利要求3的方法，进一步包括采用移动装置向室内输送材料。

5.权利要求4的方法，其中，移动装置是螺旋推运器。

6.权利要求1的方法，其中，输送恒定热流的步骤包括提供恒定电流的步骤。

7.权利要求1的方法，其中，提供热源的步骤包括提供闪蒸加热元件的步骤。

8.一种在均匀的速率下蒸发材料而在基材上形成层的方法，包括：

a)提供处于低压条件下的室；

b)提供位于室内的产生热的加热元件；

c)向室中供给至少一种有机材料以形成可蒸发材料的柱，其中，柱的横截面积恒定，但柱体积随供给速率的变化而改变。

d)提供与柱运行相关的冷却散热器，以维持柱底部在受控的温度；以及

e)从加热元件向柱表面输送恒定的热流，这样单位时间内均匀体积的材料被蒸发而在基材上形成有机层。

9.权利要求8的方法，进一步包括提供与室连通的集流腔来接受可蒸发材料，该集流腔限定开口位置与基质的位置关系，从而可蒸发材料通过开口而在基材上形成层。

10.权利要求9的方法，进一步包括采用移动装置向室内输送材料。

11.权利要求8的方法，其中，移动装置是螺旋推运器。

12.权利要求8的方法，其中，在加热元件上施加恒定电流产生热。

13.权利要求8的方法，其中，供给至少一种有机材料的步骤包括供给第一有机材料和第二有机材料的步骤，在部分蒸发温度范围内第一材料的蒸气压力超过第二材料的蒸气压力一个数量级。

14.一种提供材料的均匀蒸发的装置，包括：

a)室；

b)位于室内的提供蒸发能量的加热元件；

c)恒定的电流源，从而向加热元件提供基本恒定的热流作为蒸发能量；

d)用于在基本连续的流速下向加热元件提供可蒸发材料柱的供给装置；以及

e)靠近可蒸发材料柱的冷却散热器，用于消散由与加热元件相隔的部分柱吸收的热。

15.权利要求14的装置，其中，加热元件是闪蒸加热元件。

16.权利要求14的装置，其中，加热元件包括筛。