[发明专利]用于制造十字电路器件的方法

摘要

一种用于在衬底(1)上制造十字电路的方法，所述十字电路包括第一线(10)的第一格子和第二线(17)的第二格子，第一线(10)沿第一方向延伸，第二线沿第二方向延伸，第一方向和第二方向相对于彼此配置为形成单个二维线格子，每一个第一线通过位于第一和第二线重叠的位置处的中间层(14)与每一个第二线隔离；所述方法包括：在衬底上沉积可压印层(2)；通过模具(3)将二维格子掩模(5)压印到可压印层(2)上；沿第一方向将第一材料(8)定向沉积到格子掩模上；以及沿第二方向将第二材料(15)定向沉积到格子掩模上，在第一和第二材料的定向沉积期间，所述格子掩模作为遮蔽掩模。

主权项

1.一种用于在衬底(1)上制造十字电路器件的方法，所述十字电路器件包括第一线(10)的第一格子和第二线(17)的第二格子，第一线(10)沿第一方向延伸，第二线(17)沿第二方向延伸，第一线(10)的第一方向和第二线(17)的第二方向被相对于彼此配置，从而形成二维线格子，每一个第一线(10)通过位于第一线(10)和第二线(17)重叠的位置处的中间层(14)与每一个第二线(17)隔离；所述方法包括在衬底(1)上沉积可压印层(2)的步骤，其特征在于：-通过模具(3)将二维格子掩模(5)压印到可压印层(2)上，所述格子掩模(5)包括多个柱子(7)和在相邻柱子之间插入的开口(12)，并且所述格子掩模(5)与二维线格子互补；-沿实质上第一方向将第一材料(8)定向沉积到二维格子掩模(5)上；以及-沿实质上第二方向将第二材料(15)定向沉积到二维格子掩模(5)上，-在第一和第二材料(8；15)的定向沉积期间，所述二维格子掩模(5)作为遮蔽掩模。