[发明专利]涡轮分子泵的密封结构无效
| 申请号： | 200680001762.7 | 申请日： | 2006-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN101099043A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 大林哲郎;井口昌司 | 申请（专利权）人： | 株式会社大阪真空机器制作所 |
| 主分类号： | F04D19/04 | 分类号： | F04D19/04;F04D29/10 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐江华;王珍仙 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种涡轮分子泵的密封结构，对于该结构，排出气体或粉尘等不会侵入涡轮分子泵的轴承部和电机部，并且密封部的长度也变短。该密封结构包括摇动自如地嵌入涡轮分子泵1壳体的静止构件10的衬套12、和转动自如地插通该衬套12的内周部的轴颈轴部8a，在该轴颈轴部8a的外周部凹设有人字形槽8b，同时相接于该人字形槽8b具有由上述轴颈轴部8a和上述衬套12形成的间隙密封部8c。 | ||
| 搜索关键词： | 涡轮 分子 密封 结构 | ||
【主权项】：
1、一种涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，对于通过滚动轴承支承旋转轴的涡轮分子泵，包括可径向摇动地嵌入该涡轮分子泵壳体的静止构件的圆筒状衬套、和与该衬套的内周部具有极小间隙且转动自如地插通该内周部的轴颈轴部，在该轴颈轴部的外周部以朝向旋转方向展开成ヘ字形状凹设人字形槽，同时相邻于该人字形槽设置有由所述衬套和所述轴颈轴部形成的间隙密封部。
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