[发明专利]涡轮分子泵的密封结构

说明书

技术领域

本发明涉及最适于真空排放工艺气体的涡轮分子泵的密封结构，所述工艺气体中含有腐蚀性气体及易凝结的气体等。

背景技术

作为涡轮分子泵的密封结构，申请人先前提出了如下的涡轮分子泵的密封结构(参照专利文献1)：如图7所示，通过滚动轴承支承旋转轴的涡轮分子泵a，包括径向可摇动地嵌入该涡轮分子泵a壳体的静止构件b的圆筒状的衬套c、和具有极小间隙且转动自如地插通该衬套c的内周部的轴颈轴部(journal shaft)d，在该轴颈轴部d的外周部凹设有人字形槽e和螺纹槽f，并且在上述衬套c和轴颈轴部d之间导入净化气体。

这是通过上述人字形槽的作用而在上述轴颈轴部和上述衬套之间得到调心作用，进而通过上述螺纹槽起到螺纹密封作用。

专利文献1：日本特开2002-147385号公报

上述专利文献1中的涡轮分子泵的密封结构采用了具有螺纹槽的螺纹密封。

然而，当因辅助泵停止而使得该涡轮分子泵的转子侧变为大气压状态时，或因排出气体量过大而使得上述辅助泵的压力升高时，所述密封结构有时会存在具有腐蚀性的排出气体或粉尘等从该涡轮分子泵的转子侧侵入电机壳体内这样的问题。

这是由于，上述排出气体或粉尘等通过上述螺纹密封部的螺纹槽进入到电机壳体侧。

再有，上述辅助泵是指作为主排气泵(例如涡轮分子泵)的辅助泵同时进行运转的真空泵，起到的作用是将真空容器从大气压粗抽到1Pa左右的压力。

另外，上述具有螺纹密封部的密封结构还存在轴颈轴部沿轴向所需长度变长，涡轮分子泵的旋转轴的长度变长的缺陷。这造成了涡轮分子泵大型化的问题。

发明内容

为了解决这些问题，本发明的目的是提供一种涡轮分子泵的密封结构，其即使在上述辅助泵停止、或辅助泵侧的压力升高时，排出气体或粉尘等也不会侵入涡轮分子泵的电机壳体内，并且可缩短其轴向长度。

为了实现上述目的，本发明的通过滚动轴承支承旋转轴的涡轮分子泵，包括可径向摇动地嵌入该涡轮分子泵壳体的静止构件的圆筒状衬套、和与该衬套的内周部具有极小的间隙且转动自如地插通该内周部的轴颈轴部，在该轴颈轴部的外周部以朝向旋转方向展开成ヘ字形状凹设人字形槽，同时相邻于该人字形槽而设置有由所述衬套和所述轴颈轴部形成的间隙密封部。

根据本发明，具有如下效果：可以提供一种涡轮分子泵，即使辅助泵侧的压力上升，排出气体或粉尘等也不会侵入涡轮分子泵的电机壳体内，并且其密封部的轴向长度变得更短。

附图说明

图1是具有实施例1的密封结构的涡轮分子泵的纵截面图；

图2是上述密封结构部分的具体示意图；

图3是上述密封结构的性能说明图；

图4是实施例2的密封结构部分的具体示意图；

图5是实施例2的另一实例的密封结构部分的具体示意图；

图6是实施例3的密封结构部分的具体示意图；

图7是现有技术的涡轮分子泵的纵截面图。

符号的说明

1              涡轮分子泵

2、2′、2″    密封结构部分

8a             轴颈轴部

8b             人字形槽

8c             间隙密封部

10、10′、10″ 静止构件

12、12′       衬套

13a、13b、13c  O形环

具体实施方式

下面给出的是用于实施本发明的最佳实施例。

实施例1

通过图1  图3对本发明的实施例1进行说明。

图1是具有本发明的密封结构的涡轮分子泵1的纵截面图，2是后述的密封结构部分，3是吸气口，4是排气口。

5是转子，在外周具有多个动叶片6，其呈放射状、多层。

另外，7是静叶片。

在上述转子5的中心部具有旋转轴8，转子5和旋转轴8一体地进行高速旋转。

上述旋转轴8通过润滑油润滑式的滚动轴承9a、9b被转动自如地支承在壳体的静止构件10、11上。

再有，14是用于驱动上述旋转轴8的电机，15是电机壳体。

上述密封结构部分2的具体构造如图2所示。

即，密封结构部分2包括可径向摇动地缓嵌于设置在上述静止构件10上的轴孔10a中的圆筒状的衬套12、和转动自如地插通该衬套12的轴颈轴部8a。