[发明专利]涡轮分子泵的密封结构

权利要求书

1、一种涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，对于通过滚动轴承支承旋转轴的涡轮分子泵，包括可径向摇动地嵌入该涡轮分子泵壳体的静止构件的圆筒状衬套、和与该衬套的内周部具有极小间隙且转动自如地插通该内周部的轴颈轴部，在该轴颈轴部的外周部以朝向旋转方向展开成ヘ字形状凹设人字形槽，同时相邻于该人字形槽设置有由所述衬套和所述轴颈轴部形成的间隙密封部。

2、根据权利要求1所述的涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，在所述衬套和所述轴颈轴部的间隙导入净化气体。

3、根据权利要求1所述的涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，在所述轴颈轴部的滚动轴承侧配置所述人字形槽，同时在所述轴颈轴部的排出气体流入侧配置所述间隙密封部。

4、根据权利要求1所述的涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，所述衬套在外周部存在少许间隙而缓嵌于所述静止构件，同时通过嵌接在该衬套的外周部的至少1个O形环形成卡接于所述静止构件的结构，通过所述O形环的弹性来吸收所述衬套的径向摇动。

5、根据权利要求1所述的涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，所述衬套在外周部存在少许间隙而缓嵌于所述静止构件，同时设置与该衬套的内周部接触的O形环，并将该O形环嵌入的O形环槽附设在所述静止构件上，通过该O形环的弹性来吸收所述衬套的径向摇动。

6、根据权利要求1～5中任一项所述的涡轮分子泵的密封结构，其特征在于，在所述静止构件的上端部设置穿孔圆板体，在该穿孔圆板体的内周部和插通该内周部的转子柄部的外周部之间设有具有极小间隙的固定间隙密封部。