[实用新型]衬底架的传输固定装置无效
| 申请号： | 200620121346.8 | 申请日： | 2006-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN200986915Y | 公开（公告）日： | 2007-12-05 |
| 发明（设计）人： | 罗纳尔·维恩·肖尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673;B65D81/02;B65D85/30 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵飞 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本实用新型提供一种用于保持衬底架的传输固定装置，其包括用数个支柱连接的顶部端板和底部端板。这些支柱间隔开足够距离，以将衬底架限定在它们之间。每个支柱都具有带有适应性缓冲器的纵向内部边缘，该缓冲器缓冲衬底架。传输外壳能够封闭固定装置，并且该外壳的至少一部分为透光的，以允许在不打开外壳的情况下看到固定装置和架。外部的硬箱体能够封闭外壳，用于进一步保护。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 传输 固定 装置 | ||
【主权项】：
1.用于衬底架的传输固定装置，其特征在于，所述传输固定装置包括：(a)顶部端板和底部端板；(b)将所述顶部端板连接到所述底部端板上的多个支柱，这些支柱间隔开充分距离，以将所述衬底架限定在它们之间，每个所述支柱都具有纵向内部边缘；及多个适应性缓冲器，每个所述缓冲器都耦合到所述支柱的所述纵向内部边缘上。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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