[实用新型]衬底架的传输固定装置无效
申请号: | 200620121346.8 | 申请日: | 2006-06-05 |
公开(公告)号: | CN200986915Y | 公开(公告)日: | 2007-12-05 |
发明(设计)人: | 罗纳尔·维恩·肖尔 | 申请(专利权)人: | 应用材料公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673;B65D81/02;B65D85/30 |
代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 赵飞 |
地址: | 美国加利*** | 国省代码: | 美国;US |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 衬底 传输 固定 装置 | ||
1.用于衬底架的传输固定装置,其特征在于,所述传输固定装置包括:
(a)顶部端板和底部端板;
(b)将所述顶部端板连接到所述底部端板上的多个支柱,这些支柱间隔开充分距离,以将所述衬底架限定在它们之间,每个所述支柱都具有纵向内部边缘;及
多个适应性缓冲器,每个所述缓冲器都耦合到所述支柱的所述纵向内部边缘上。
2.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述支柱通过形成铰链的销结合到所述端板上。
3.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述顶部端板和所述底部端板为三角形,并具有顶端,并且所述支柱结合到所述顶端上。
4.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述顶部端板和所述底部端板包括加强结构,并包括用于承载所述固定装置的手指孔。
5.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,每个所述适应性缓冲器都包括聚合体管。
6.如权利要求5所述的固定装置,其特征在于,每个所述聚合体管都包括纹理表面。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造