[实用新型]衬底架的传输固定装置无效

专利信息
申请号: 200620121346.8 申请日: 2006-06-05
公开(公告)号: CN200986915Y 公开(公告)日: 2007-12-05
发明(设计)人: 罗纳尔·维恩·肖尔 申请(专利权)人: 应用材料公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;B65D81/02;B65D85/30
代理公司: 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 代理人: 赵飞
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要:
搜索关键词: 衬底 传输 固定 装置
【权利要求书】:

1.用于衬底架的传输固定装置,其特征在于,所述传输固定装置包括:

(a)顶部端板和底部端板;

(b)将所述顶部端板连接到所述底部端板上的多个支柱,这些支柱间隔开充分距离,以将所述衬底架限定在它们之间,每个所述支柱都具有纵向内部边缘;及

多个适应性缓冲器,每个所述缓冲器都耦合到所述支柱的所述纵向内部边缘上。

2.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述支柱通过形成铰链的销结合到所述端板上。

3.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述顶部端板和所述底部端板为三角形,并具有顶端,并且所述支柱结合到所述顶端上。

4.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,所述顶部端板和所述底部端板包括加强结构,并包括用于承载所述固定装置的手指孔。

5.如权利要求1所述的固定装置,其特征在于,每个所述适应性缓冲器都包括聚合体管。

6.如权利要求5所述的固定装置,其特征在于,每个所述聚合体管都包括纹理表面。

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