[发明专利]清洗液配运装置有效
| 申请号： | 200610147801.6 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101204792A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 陆琛 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | B24B55/00 | 分类号： | B24B55/00;B24B29/02;H01L21/304;F17D1/08;F17D3/01 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种清洗液配运装置，包括：去离子水源；化学试剂源；清洗液液体通路单元，所述清洗液液体通路单元具有：至少一个去离子水输入端，与去离子水源相连接；至少一个化学试剂输入端，与化学试剂源相连接；和一对或多对清洗液输出端，从所述的去离子水输入端输入的去离子水和从所述的化学试剂输入端输入的化学溶液可以从每对清洗液输出端中的一个同时输出，且可以从所述每对清洗液输出端中的另一个单独输出去离子水。本发明还提供一种采用上述的清洗液配运装置的晶片的清洗方法，可以将化学试剂的剂量降低一半，降低了工艺成本。 | ||
| 搜索关键词： | 清洗 液配运 装置 | ||
【主权项】：
1.一种清洗液配运装置，包括：去离子水源；化学试剂源；清洗液液体通路单元，所述清洗液液体通路单元具有：至少一个去离子水输入端，与去离子水源相连接；至少一个化学试剂输入端，与化学试剂源相连接；和一对或多对清洗液输出端，其特征在于，所述去离子水输入端与化学试剂输入端通过液体通路与每对清洗液输出端的第一清洗液输出端均相连接；所述去离子水输入端通过液体通路单元中的液体通路与每对清洗液输出端的第二清洗液输出端直接相连接。
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