[发明专利]清洗液配运装置

权利要求书

1.一种清洗液配运装置，包括：

去离子水源；

化学试剂源；

清洗液液体通路单元，所述清洗液液体通路单元具有：

至少一个去离子水输入端，与去离子水源相连接；

至少一个化学试剂输入端，与化学试剂源相连接；和

一对或多对清洗液输出端，其特征在于，所述去离子水输入端与化学试剂输入端通过液体通路与每对清洗液输出端的第一清洗液输出端均相连接；所述去离子水输入端通过液体通路单元中的液体通路与每对清洗液输出端的第二清洗液输出端直接相连接。

2.根据权利要求1所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述的化学试剂输入端通过液体通路经由至少一个可调节流量计分别与每个清洗液输出端相连接，所述去离子水输入端通过液体通路单元，经由至少一个可调节流量计分别与每个清洗液输出端相连接。

3.根据权利要求2所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述液体通路单元中，所述的化学试剂输入端在经由所述的可调节流量计之后，还经由至少一个单向阀与每对清洗液输出端的第一清洗液输出端相连接。

4.根据权利要求3所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述液体通路单元中，所述的化学试剂输入端与去离子水输入端在分别经由所述可调节流量计之后，还通过液体通路经由第一三通阀的第一端和第二端对化学试剂和去离子水混合形成清洗液，所述第一三通阀的第三端经由单向阀与每对清洗液输出端的第一清洗液输出端相连接。

5.根据权利要求4所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述液体通路单元中，所述第一三通阀的第三端通过液体通路经由单向阀与第二三通阀的第一端相连接，所述第二三通阀的第二端通过液体通路与每对清洗液输出端的第一清洗液输出端相连接；所述第二三通阀的第三端通过液体通路经由至少一个控制阀与每对清洗液输出端的第二清洗液输出端相连接。

6.根据权利要求5所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述液体通路单元中，所述去离子水输入端通过液体通路经由至少一个可调流量计和控制阀与每对清洗液输出端的第二清洗液输出端直接相连接。

7.根据权利要求1所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述液体通路单元中，所述去离子水输入端通过液体通路经由至少一个可调流量计与每对清洗液输出端的第二清洗液输出端直接相连接。

8.根据权利要求1至7中任一个所述的清洗液配运装置，其特征在于：所述的化学试剂为柠檬酸。