[发明专利]光发射显微镜样品有效
| 申请号： | 200610147793.5 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101206179A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;张启华;郭志蓉;廖炳隆 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01R31/308;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种光发射显微镜样品，包括：芯片，具有第一焊盘；PCB板，具有与第一焊盘电连接的第二焊盘；固载组件，用于承载固定芯片，进一步包括：穿透PCB板的嵌入孔、置于嵌入孔内且承载芯片的透明基板以及将芯片机械固定在透明基板上的固定组件，其中透明基板与PCB板锁定且彼此板面平行；以及翻转组件，用于绕轴翻转PCB板且锁定PCB板。上述光发射显微镜样品制备快，质量高。 | ||
| 搜索关键词： | 发射 显微镜 样品 | ||
【主权项】：
1.一种光发射显微镜样品，其特征在于，包括：芯片，具有第一焊盘；PCB板，具有与第一焊盘电连接的第二焊盘；固载组件，用于承载固定芯片，进一步包括：穿透PCB板的嵌入孔、置于嵌入孔内且承载芯片的透明基板以及将芯片机械固定在透明基板上的固定组件，其中透明基板与PCB板锁定且彼此板面平行；以及翻转组件，用于绕轴翻转PCB板且锁定PCB板。
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