[发明专利]光发射显微镜样品有效
| 申请号： | 200610147793.5 | 申请日： | 2006-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN101206179A | 公开（公告）日： | 2008-06-25 |
| 发明（设计）人： | 梁山安;张启华;郭志蓉;廖炳隆 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88;G01R31/308;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 逯长明 |
| 地址： | 201203*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 发射 显微镜 样品 | ||
1.一种光发射显微镜样品，其特征在于，包括：
芯片，具有第一焊盘；
PCB板，具有与第一焊盘电连接的第二焊盘；
固载组件，用于承载固定芯片，进一步包括：穿透PCB板的嵌入孔、置于嵌入孔内且承载芯片的透明基板以及将芯片机械固定在透明基板上的固定组件，其中透明基板与PCB板锁定且彼此板面平行；以及
翻转组件，用于绕轴翻转PCB板且锁定PCB板。
2.根据权利要求1所述的光发射显微镜样品，其特征在于：透明基板通过卡入嵌入孔侧壁而与PCB板锁定。
3.根据权利要求2所述的光发射显微镜样品，其特征在于：所述透明基板的长为1cm～2cm，宽为1cm～2cm，高为0.6cm～1cm。
4.根据权利要求1所述的光发射显微镜样品，其特征在于：固定组件包括：
固定螺丝，位于芯片上；
固定杆，具有与固定螺丝连接的固定孔以及两端具有固定柱；
PCB板通孔，位于嵌入孔对称两侧，用于和固定柱连接将固定杆锁定在PCB板上。
5.根据权利要求4所述的光发射显微镜样品，其特征在于：所述固定螺丝直径为0.2cm～0.4cm，长度为0.5cm～1cm。
6.根据权利要求4所述的光发射显微镜样品，其特征在于：所述固定杆的长度为3cm～6cm。
7.根据权利要求4所述的光发射显微镜样品，其特征在于：固定柱的直径为0.3cm～0.5cm，长度为0.5cm～1cm。
8.根据权利要求1所述的光发射显微镜样品，其特征在于：翻转组件包括：
底架框，位于PCB板外围，对称两侧具有旋转杆；
旋转孔，位于PCB板对称侧边且与旋转杆配合。
9.根据权利要求8所述的光发射显微镜样品，其特征在于：底架框外框的长为6.5cm～13cm，宽为5.5cm～11cm。
10.根据权利要求9所述的光发射显微镜样品，其特征在于：底架框内框的长为6cm～12cm，宽为5cm～10cm。
11.根据权利要求9所述的光发射显微镜样品，其特征在于：所述旋转杆的长度为0.5cm～0.8cm。
12.根据权利要求11所述的光发射显微镜样品，其特征在于：旋转孔的直径为0.3cm～0.5cm，深度为0.8cm～1.2cm。
13.根据权利要求1所述的光发射显微镜样品，其特征在于：所述PCB板的长为5cm～10cm，宽为4cm～8cm，高为0.8cm～1.2cm。
14.根据权利要求1所述的光发射显微镜样品，其特征在于：第一焊盘和第二焊盘通过键合线电连接。
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