[发明专利]用以监测图案尺寸的方法与系统有效
| 申请号： | 200610140407.X | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1945440A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张世明;夏振原;王文娟;吕启纶;黄彦彬;洪彰成;陈嘉仁;刘介中;李信昌;谢弘璋 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明是有关于一种用以监测图案尺寸的系统与方法，其是用于具有一透明层以及一非透明图案的物件，该透明层是裸露于该图案，该非透明图案是与该透明层层压。根据此方法，其是将一第一光束投射于该图案上。侦测一第二光束，该第二光束是该第一光束通过裸露于该图案的该透明层所产生，或是该第一光束由该图案的非透明层反射所产生。由测得的第二光束获得一预先设定属性的值。监测该值的变化，用以鉴别该图案的尺寸。此系统与方法是以替代的方案，借由计算在一监测区域内透射能量与反射能量的比例，来收集关于尺寸与相位的资讯。由于这些方案经久耐用且易于整合在一蚀刻室内，因此可以在一蚀刻制程中提供同步量测。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 监测 图案 尺寸 方法 系统 | ||
【主权项】：
1、一种用以监测图案尺寸的方法，该方法是用于具有一透明层以及一非透明图案的物件，该透明层是裸露于该图案，该非透明图案是层压于该透明层上，其特征在于其包含以下步骤：投射一第一光束于该图案上；侦测一第二光束，该第二光束是该第一光束通过裸露于该图案的该透明层所产生，或是该第一光束由该图案的非透明层反射所产生；由测得的第二光束获得一预先设定属性的值；监测该值的变化，用以鉴别该图案的尺寸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于台湾积体电路制造股份有限公司，未经台湾积体电路制造股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200610140407.X/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：真菌免疫调节蛋白之用途
- 下一篇：空调机
