[发明专利]用以监测图案尺寸的方法与系统有效
| 申请号： | 200610140407.X | 申请日： | 2006-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN1945440A | 公开（公告）日： | 2007-04-11 |
| 发明（设计）人： | 张世明;夏振原;王文娟;吕启纶;黄彦彬;洪彰成;陈嘉仁;刘介中;李信昌;谢弘璋 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 寿宁;张华辉 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用以 监测 图案 尺寸 方法 系统 | ||
【说明书】：
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