[发明专利]负压真空吸附装置及使用该装置的磨边装置有效
| 申请号： | 200610111887.7 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101138834A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张隆武;简志维;李佳昌;李政谦 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;H01L21/304;B23Q3/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种负压真空吸附装置，包括：一吸盘座与至少一吸盘部。所述吸盘座，其内部开设有至少一负压管路，所述吸盘座上更开设有至少一凹孔。所述至少一吸盘部，其是设置于所述凹孔上，所述吸盘部是以一管路与所述负压管路相连通，所述管路外围设置有一挠性吸盘。利用本发明的装置可以应用于一磨边装置台上，以提供吸附工件，使得在研磨生产的过程当中，透过所述挠性吸盘的吸附，以确保工件稳定于所述吸盘座上，进而防止工件因为外部机械加工产生的作用力，将工件推移而导致工件加工过程中几何尺寸的误差与龟裂破片的不良情况产生。 | ||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 装置 使用 磨边 | ||
【主权项】：
1.一种负压真空吸附装置，其特征在于，包括：一吸盘座，其内部开设有至少一负压管路，所述吸盘座上更开设有至少一凹孔；以及至少一吸盘部，其是设置于所述凹孔上，所述吸盘部是以一管路与所述负压管路相连通，所述管路外围设置有一挠性吸盘。
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