[发明专利]负压真空吸附装置及使用该装置的磨边装置有效
| 申请号： | 200610111887.7 | 申请日： | 2006-09-06 |
| 公开（公告）号： | CN101138834A | 公开（公告）日： | 2008-03-12 |
| 发明（设计）人： | 张隆武;简志维;李佳昌;李政谦 | 申请（专利权）人： | 财团法人工业技术研究院 |
| 主分类号： | B24B9/06 | 分类号： | B24B9/06;H01L21/304;B23Q3/00 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 吸附 装置 使用 磨边 | ||
1.一种负压真空吸附装置，其特征在于，包括：
一吸盘座，其内部开设有至少一负压管路，所述吸盘座上更开设有至少一凹孔；以及
至少一吸盘部，其是设置于所述凹孔上，所述吸盘部是以一管路与所述负压管路相连通，所述管路外围设置有一挠性吸盘。
2.如权利要求1所述的负压真空吸附装置，其特征在于：所述吸盘座上更具有多个开孔，所述多个开孔是与所述至少一负压管路相连通。
3.如权利要求2所述的负压真空吸附装置，其特征在于：所述吸盘座上更具有多个沟槽与所述多个开孔相连通。
4.如权利要求1所述的负压真空吸附装置，其特征在于：所述吸盘部是设置于所述吸盘座的中心位置。
5.如权利要求1所述的负压真空吸附装置，其特征在于：所述吸盘部是设置于所述吸盘座的边缘位置。
6.一种磨边装置，其特征在于，包括：
一座体；
至少一第一轴向驱动部，其是设置于所述座体上，所述第一轴向驱动部提供一第一轴向的线性运动；
至少一第二轴向驱动部，其是设置于所述第一轴向驱动部上，所述第二轴向驱动部提供一第二轴向的线性运动；
一研磨部，其是设置于所述第二轴向驱动部上，所述研磨部对一工件进行研磨；
一第三轴向驱动部，其是设置于所述座体的一侧，所述第三轴向驱动部提供一第三轴向的线性运动；以及
一载台部，其是设置于所述第三轴向驱动部上且可进行一旋转以及升降运动，所述载台部更包括有：
一吸盘座，其是可承载所述工件，所述吸盘座的内部开设有至少一负压管路，所述吸盘座上更开设有至少一凹孔；以及
至少一吸盘部，其是设置于所述凹孔上，所述吸盘部是以一管路与所述负压管路相连通，所述管路外围设置有一挠性吸盘。
7.如权利要求6所述的磨边装置，其特征在于：所述吸盘座上更具有多个开孔，所述多个开孔是与所述至少一负压管路相连通。
8.如权利要求7所述的磨边装置，其特征在于：所述吸盘座上更具有多个沟槽与所述多个开孔相连通。
9.如权利要求6所述的磨边装置，其特征在于：所述吸盘部是设置于所述吸盘座的中心位置。
10.如权利要求6所述的磨边装置，其特征在于：所述多个吸盘部是分别设置于所述吸盘座的边缘位置。
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