[发明专利]用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统无效
| 申请号： | 200580034951.X | 申请日： | 2005-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN101120329A | 公开（公告）日： | 2008-02-06 |
| 发明（设计）人： | C·H·德;托马索·托雷利;多米尼克·戴维;C·杨;迈克尔·戈登·斯科特;拉里塔·A·巴拉苏布若门尼;L·高;T·黄;J·张;米哈尔·科瓦斯基;乔纳森·奥克利 | 申请（专利权）人： | 恪纳腾技术公司 |
| 主分类号： | G06F15/00 | 分类号： | G06F15/00;G01N21/00;G06K9/00;G01N23/00 |
| 代理公司： | 北京嘉和天工知识产权代理事务所 | 代理人： | 严慎 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 提供了各种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法。一种方法包括基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺陷组。所述方法还包括向用户显示关于所述缺陷组的信息。此外，所述方法包括允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。还提供了被配置来分类样品上的缺陷的系统。一种系统包括在处理器上可执行的程序指令，所述程序指令用于基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺陷组。所述系统还包括用户界面，所述用户界面被配置来向用户显示关于所述缺陷组的信息，并且允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 分类 样品 缺陷 计算机 实现 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法，包括：基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺陷组；向用户显示关于所述缺陷组的信息；以及允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。
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