[发明专利]用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法和系统

权利要求书

1.一种用于分类样品上的缺陷的计算机实现的方法，包括：

基于在所述样品上检测到的各个缺陷的一种或更多种特性，将所述各个缺陷指派到缺 陷组；

向用户显示关于所述缺陷组的信息；以及

允许所述用户向所述缺陷组中的每一个组指派分类。

2.如权利要求1所述的方法，其中所述一种或更多种特性包括缺陷特征向量、提取 的特征、特征属性或它们的一些组合。

3.如权利要求1所述的方法，其中所述一种或更多种特性是从对所述各个缺陷的电 子束评估生成的数据来确定的。

4.如权利要求1所述的方法，其中所述一种或更多种特性是从对所述各个缺陷的电 子束评估生成的数据结合对所述样品的光学检查生成的数据来确定的。

5.如权利要求1所述的方法，还包括基于所述样品的一种或更多种特性选择分类配 置，其中所述指派步骤包括使用所述分类配置来将所述各个缺陷指派到所述缺陷组。

6.如权利要求1所述的方法，还包括基于在所述样品上进行的一种或更多种工艺选 择分类配置，其中所述指派步骤包括使用所述分类配置来将所述各个缺陷指派到所述缺陷 组。

7.如权利要求1所述的方法，其中所述指派步骤包括使用自动缺陷分类代码来将所 述各个缺陷指派到所述缺陷组。

8.如权利要求1所述的方法，其中所述指派步骤包括使用自然分组来将所述各个缺 陷指派到所述缺陷组。

9.如权利要求1所述的方法，其中所述缺陷组包括针对具有一个或更多个未识别特 性的所述各个缺陷的缺陷组。

10.如权利要求1所述的方法，其中所述缺陷组包括针对曾被检查检测到但未曾被评 估再次检测到的所述各个缺陷的缺陷组。

11.如权利要求1所述的方法，其中所述信息包括用于所述缺陷组的概然分类。

12.如权利要求1所述的方法，其中所述信息包括关于被包括在所述缺陷组中的每一 个组中的一个或更多个典型缺陷的信息。

13.如权利要求1所述的方法，其中所述信息包括关于所述各个缺陷中的一个或更多 个的数据，并且其中所述数据是由电子束评估工具生成的。

14.如权利要求1所述的方法，其中所述信息包括关于所述各个缺陷中的一个或更多 个的数据，并且其中所述数据是由光学检查工具生成的。

15.如权利要求1所述的方法，还包括允许所述用户将所述各个缺陷中的一个或更多 个从所述缺陷组中的一个组移动到所述缺陷组中的另一个组。

16.如权利要求1所述的方法，还包括允许所述用户创建一个或更多个额外的缺陷组， 以及将所述各个缺陷中的一个或更多个从所述缺陷组移动到所述一个或更多个额外的缺 陷组。

17.如权利要求1所述的方法，还包括基于由所述用户指派的分类生成分类配置，其 中所述分类配置可以被用于半自动的缺陷分类方法和自动的缺陷分类方法。

18.如权利要求1所述的方法，其中所述指派步骤包括使用分类配置来将所述各个缺 陷指派到所述缺陷组，所述方法还包括基于由所述用户指派的所述分类更改所述分类配 置。

19.如权利要求1所述的方法，还包括基于由所述用户指派的所述分类生成训练集。

20.如权利要求1所述的方法，还包括基于由所述用户指派的所述分类分析所述各个 缺陷、所述样品、在所述样品上进行的工艺或者它们的组合。

21.如权利要求1所述的方法，还包括基于由所述用户指派的所述分类作出产出管理 决策。