[发明专利]确定辐射功率的方法和曝光设备

摘要

本发明涉及一种用于确定在预先确定的时间间隔t₀至t₀+Δt内辐射源的以调制频率ω₀被强度调制的电磁辐射(12)的平均辐射功率的方法，包括以下步骤：提供反射器装置(14，16，18，20)，该反射器装置被设计用于对辐射源的电磁辐射(12)和测试辐射源(28)的电磁辐射(24)进行反射；用辐射源的电磁辐射(12)来照射反射器装置(18)的预先确定的面积(32)；用测试辐射源的电磁辐射(24)至少部分地照射反射器装置(18)的面积(32)；测量在预先确定的时间间隔内测试辐射源的由该面积(32)所反射的电磁辐射(26)的、反射测试辐射功率P_test(t)的以ω₀被调制的功率分量P_test,ω₀(t)；确定在预先确定的时间间隔内反射测试辐射功率P_test(t)的、所测量的以ω₀被调制的功率分量P_test,ω₀(t)的平均值；根据关系 确定平均辐射功率，其中a是预先确定的或可预先确定的常数。此外本发明还涉及一种曝光设备。

主权项

1.用于确定在预先确定的时间间隔t₀至t₀+Δt内辐射源的以调制频率ω₀被强度调制的电磁辐射(12)的平均辐射功率的方法，该方法包括以下步骤：-提供反射器装置(14，16，18，20)，该反射器装置被设计用于对所述辐射源的电磁辐射(12)和测试辐射源(28)的电磁辐射(24)进行反射；-用所述辐射源的电磁辐射(12)照射所述反射器装置(18)的预先确定的面积(32)；-用所述测试辐射源的电磁辐射(24)至少部分地照射所述反射器装置(18)的面积(32)；-测量在所述预先确定的时间间隔内所述测试辐射源的由所述面积(32)所反射的电磁辐射(26)的、反射测试辐射功率P_test(t)的以ω₀被调制的功率分量P_test，ω0(t)；-确定在所述预先确定的时间间隔内所述反射测试辐射功率P_test(t)的、所测量的以ω₀被调制的功率分量P_test，ω0(t)的平均值-根据以下关系PStr0‾=a·Ptest,ω00‾]]>确定所述平均辐射功率其中a是预先确定的或可预先确定的常数。