[发明专利]确定辐射功率的方法和曝光设备无效
| 申请号： | 200580006410.6 | 申请日： | 2005-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN1926474A | 公开（公告）日： | 2007-03-07 |
| 发明（设计）人： | S·舒瓦兹尔;S·沃姆 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 卢江;魏军 |
| 地址： | 德国*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 确定 辐射 功率 方法 曝光 设备 | ||
【说明书】：
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