[实用新型]晶圆研磨定位环无效
| 申请号： | 02204740.9 | 申请日： | 2002-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN2538485Y | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陈水源;陈水生;陈添丁 | 申请（专利权）人： | 陈水源;陈水生;陈添丁 |
| 主分类号： | B23Q3/18 | 分类号： | B23Q3/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈践实 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种晶圆研磨定位环，包括一环体，由具有极佳承载性、耐磨性及耐腐蚀性的晶状塑胶一体成形，其内径与所套合并带动同轴旋转的待研磨晶圆的外径相配合；环体周壁顶缘设有同体适当宽度与高度的环形凸缘，凸缘上设有若干等距离环形排列的凹孔，复数个螺护套与凹孔相配合并压嵌在凹孔内定位，若干出水孔设于环体周壁，并贯穿环体周壁向外排水；其环体下缘设有若干个凹入环体的废物槽，该废物槽内、外两端开口呈斜锥状凹槽，用以降低研磨所产生废物的摔出速度。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 定位 | ||
【主权项】：
1、一种晶圆研磨定位环，包括：一环体，为圆环体，由具有极佳承载性、耐磨性及耐腐蚀性的晶状塑胶一体成形，其内径与所套合且同轴旋转的待研磨晶圆的外径相配合；其环体周壁顶缘设有同体适当宽度与高度的环形凸缘，在环形凸缘上设有复数个等距离环形排列的凹孔；复数个螺护套与凹孔相配合并压嵌在凹孔内定位；若干出水孔设于环体内周壁，并贯穿环体周壁向外排水；该环体下缘设有若干凹入环体的废物槽；其特征在于：该废物槽为内、外两端开口，呈斜锥状凹槽。
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