[实用新型]晶圆研磨定位环无效
| 申请号： | 02204740.9 | 申请日： | 2002-01-23 |
| 公开（公告）号： | CN2538485Y | 公开（公告）日： | 2003-03-05 |
| 发明（设计）人： | 陈水源;陈水生;陈添丁 | 申请（专利权）人： | 陈水源;陈水生;陈添丁 |
| 主分类号： | B23Q3/18 | 分类号： | B23Q3/18 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 陈践实 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 研磨 定位 | ||
【权利要求书】：
1、一种晶圆研磨定位环，包括：一环体，为圆环体，由具有极佳承载性、耐磨性及耐腐蚀性的晶状塑胶一体成形，其内径与所套合且同轴旋转的待研磨晶圆的外径相配合；其环体周壁顶缘设有同体适当宽度与高度的环形凸缘，在环形凸缘上设有复数个等距离环形排列的凹孔；复数个螺护套与凹孔相配合并压嵌在凹孔内定位；若干出水孔设于环体内周壁，并贯穿环体周壁向外排水；该环体下缘设有若干凹入环体的废物槽；其特征在于：该废物槽为内、外两端开口，呈斜锥状凹槽。
2.根据权利要求1所述的晶圆研磨定位环，其特征在于：所述环体下缘的若干个废物槽，为开放式三角形的斜锥状凹槽。
3、根据权利要求1所述的晶圆研磨定位环，其特征在于：所述环体下缘的若干个废物槽，为两侧呈弧形壁的凹槽。
4、根据权利要求1所述的晶圆研磨定位环，其特征在于：所述环体下缘的若干个废物槽，为两侧斜直壁的正锥形凹槽。
5、根据权利要求1所述的晶圆研磨定位环，其特征在于：所述环体下缘的若干个废物槽一侧为斜直壁，另一侧为弧形壁的凹槽。
6、根据权利要求1所述的晶圆研磨定位环，其特征在于：所述环体下缘的若干个废物槽一侧为弧形壁，另一侧为斜直壁的凹槽。
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