[发明专利]测量光罩布局修正所引起桥接的方法与装置

摘要

一种测量光罩布局修正所引起桥接的方法，包括首先提供具有布局的光罩，此布局至少包含导线图案、连接至导线图案的多个基极图案与多个接触图案组，其中任一接触图案组皆至少包含多个接触图案并且至少围绕一相对应基极未与导线图案连接的一端；然后修正布局，并将修正过布局转移至底材，而在底材上形成导线、多个基极与多个接触组；接着电性耦接这些接触组至一终端，并施加电信号于导线以测量终端有无出现因桥接而出现的电信号。

主权项

1.一种可以测量基极与接触间桥接的装置，其特征在于，至少包含：一基极，该基极位于一底材上；一介电质层，该介电质层覆盖该底材与该基极；多个接触，这些接触是位于该介电质层内并与该底材接触，这些接触是相互分离并至少围绕部份该基极：以及一导体层，该导体层位于该介电质层上，并且该导体层电性耦接这些接触。