[发明专利]电子束长度测量装置和长度测量方法

摘要

本发明提供了一种可以高精度地对长度测量对象上的预定部分实施长度测量的电子束长度测量装置和长度测量方法。本发明提供的一种电子束长度测量装置可以具有形成有包括基准部分的基准尺寸图样的基准基板(13)；搭载基准基板(13)和长度测量对象(12)用的显微镜载物台(14)；使电子束在包含基准基板(13)上的基准部分的预定位置处实施扫描，依据二次电子变化状况对电子束照射至基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和基准部分的长度对时间与长度间的对应关系实施检测的校正控制部(64)；以及使电子束在长度测量对象(12)上实施扫描，依据二次电子变化状况对电子束照射至长度测量对象(12)上预定部分处的照射时间实施检测，进而依据对应关系对长度测量对象上预定部分的长度实施检测的长度测量控制部(58)。

主权项

1.一种使用电子束对长度测量对象上的预定部分实施长度测量用的电子束长度测量装置，其特征在于，具有：发射出所述电子束用的电子枪；对所述电子束实施方向偏转用的方向偏转部；对由所述电子束产生的飞散电子实施检测用的检测器；搭载具有作为基准长度的基准部分的基准基板用的基准基板保持部；搭载所述长度测量对象用的长度测量对象保持部；使用所述方向偏转部使所述电子束在包含所述基准基板上的所述基准部分的预定位置处实施扫描用的校正扫描控制部；依据使所述电子束在所述基准基板上实施扫描时由所述检测器依次检测出的所述电子变化状况，对所述电子束照射至所述基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和所述基准部分的长度，对所述电子束的扫描时间和长度间的对应关系实施检测的对应关系检测部；使用所述方向偏转部使所述电子束在所述长度测量对象上实施扫描用的长度测量扫描控制部；以及依据使所述电子束在所述长度测量对象上实施扫描时由所述检测器依次检测出的所述电子变化状况，对所述电子束照射至所述长度测量对象上的所述预定部分处的照射时间实施检测，进而依据由所述对应关系检测部检测出的所述对应关系，对与该检测时间相对应的长度实施检测用的长度测量部。