[发明专利]电子束长度测量装置和长度测量方法

说明书

技术领域

本发明涉及电子束长度测量装置和长度测量方法。本申请与下述日本专利申请相互关联。对于承认引用文献内容可组合在申请中的指定国家，下述申请所记载的内容通过引用方式组合在本申请中，并构成为本申请记载内容的一部分。

日本专利申请2000-125103申请日：平成12年4月26日

背景技术

如果举例来说，在先技术中利用光学显微镜对诸如巨磁阻效应(GMR：Giant Magneto Resistive)型磁头元件等等的长度测量对象实施观测，进而依据观测图像，对诸如写入磁极的宽度、读取用传感器的宽度等等的预定部分长度实施长度测量用的光学式长度测量装置，已经是公知的。然而在近年来，巨磁阻效应(GMR)型磁头元件中磁极等等使用的集成电路正在进一步细微化，这使得难以使用光学式长度测量装置对其实施长度测量。因此，使用电子束实施长度测量的电子束长度测量装置正在引起人们的注意。

对于使用电子束长度测量装置实施长度测量的场合，通常是通过使电子束产生方向偏转并在长度测量对象上实施扫描的方式实施测量的，然而电子束长度测量装置在长时间使用时，电子束的方向偏转量会相对于预先设定的值产生偏差，从而难以实施正确的长度测量。

而且，即使采用构成形式相同的电子束长度测量装置，对同一长度测量对象上的预定部分实施长度测量，也往往不能给出相同的长度，即还存在有各电子束长度测量装置间难以实现长度测量相容性的问题。

本发明就是解决上述问题用的发明，本发明的目的就是提供一种能够解决上述问题的电子束长度测量装置，以及相应的长度测量方法。这些目的可以通过对权利要求书中独立权利要求所记载的技术特征实施组合的方式实现。各从属权利要求给出了本发明更佳的具体实施形式。

发明内容

为了能够实现上述目的，本发明提供了作为本发明第一方面的电子束长度测量装置，这种使用电子束对长度测量对象上的预定部分实施长度测量用的电子束长度测量装置的特征在于可以具有发射出电子束用的电子枪；对电子束实施方向偏转用的方向偏转部；对由电子束产生的飞散电子实施检测用的检测器；搭载具有作为基准长度的基准部分的基准基板用的基准基板保持部；搭载长度测量对象用的长度测量对象保持部；使用方向偏转部使电子束在包含基准基板上基准部分的预定位置处实施扫描用的校正扫描控制部；依据使电子束在基准基板上实施扫描时由检测器依次检测出的电子变化状况，对电子束照射至基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和基准部分的长度，对电子束的扫描时间和长度间的对应关系实施检测的对应关系检测部；使用方向偏转部使电子束在长度测量对象上实施扫描用的长度测量扫描控制部；以及依据使电子束在长度测量对象上实施扫描时由检测器依次检测出的电子变化状况，对电子束照射至长度测量对象上的预定部分处的照射时间实施检测，进而依据由对应关系检测部检测出的对应关系，对与该检测时间相对应的长度实施检测用的长度测量部。

而且，本发明提供的这种电子束长度测量装置，还可以进一步使校正扫描控制部使用方向偏转部使电子束按照若干个方向偏转长度，在包含基准基板上基准部分的预定位置处实施扫描；对应关系检测部对于按照若干个方向偏转长度使用电子束实施扫描的场合，分别对各对应关系实施检测；长度测量扫描控制部使用方向偏转部使电子束按照若干个方向偏转长度中的某方向偏转长度，在长度测量对象上实施扫描；而且长度测量部依据由对应关系检测部给出的、使电子束按照方向偏转长度实施扫描的场合检测出的对应关系，对与该检测时间相对应的长度实施检测。

而且，本发明提供的这种电子束长度测量装置，还可以进一步使校正扫描控制部在预定时间点之后，使电子束对包含与基准基板上预定位置不同的基准部分的其它位置处实施扫描；而且对应关系检测部还依据使电子束在对基准基板上的其它位置实施扫描时由检测器依次检测出的电子变化状况，对电子束照射至基准尺寸图样上的基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和基准部分的长度，对扫描时间和长度间的对应关系实施检测。