[发明专利]电子束长度测量装置和长度测量方法

权利要求书

1.一种使用电子束对长度测量对象上的预定部分实施长度测量用的电子束长度测量装置，其特征在于，具有：

发射出所述电子束用的电子枪；

对所述电子束实施方向偏转用的方向偏转部；

对由所述电子束产生的飞散电子实施检测用的检测器；

搭载具有作为基准长度的基准部分的基准基板用的基准基板保持部；

搭载所述长度测量对象用的长度测量对象保持部；

使用所述方向偏转部使所述电子束在包含所述基准基板上的所述基准部分的预定位置处实施扫描用的校正扫描控制部；

依据使所述电子束在所述基准基板上实施扫描时由所述检测器依次检测出的所述电子变化状况，对所述电子束照射至所述基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和所述基准部分的长度，对所述电子束的扫描时间和长度间的对应关系实施检测的对应关系检测部；

使用所述方向偏转部使所述电子束在所述长度测量对象上实施扫描用的长度测量扫描控制部；

以及依据使所述电子束在所述长度测量对象上实施扫描时由所述检测器依次检测出的所述电子变化状况，对所述电子束照射至所述长度测量对象上的所述预定部分处的照射时间实施检测，进而依据由所述对应关系检测部检测出的所述对应关系，对与该检测时间相对应的长度实施检测用的长度测量部。

2.一种如权利要求1所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述校正扫描控制部使用所述方向偏转部使所述电子束按照若干个方向偏转长度，在包含所述基准基板上的所述基准部分的预定位置处实施扫描；

所述对应关系检测部对于按照所述若干个方向偏转长度使用电子束实施扫描的场合，分别对所述各对应关系实施检测；

所述长度测量扫描控制部使用所述方向偏转部使所述电子束按照所述若干个方向偏转长度中的某方向偏转长度，在所述长度测量对象实施扫描；

而且所述长度测量部依据由所述对应关系检测部给出的、使电子束按照所述方向偏转长度实施扫描的场合检测出的所述对应关系，对与该检测时间相对应的长度实施检测。

3.一种如权利要求1或2所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述校正扫描控制部在预定时间点之后，还使所述电子束对包含与所述基准基板上的所述预定位置不同的所述基准部分的其它位置处实施扫描；

而且所述对应关系检测部还依据使所述电子束在对所述基准基板上的所述其它位置实施扫描时由所述检测器依次检测出的所述电子变化状况，对所述电子束照射至所述基准部分处的照射时间实施检测，进而依据该时间和所述基准部分的长度，对扫描时间和长度间的对应关系实施检测。

4.一种如权利要求1至3中的任何一项权利要求所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述基准基板保持部以可拆装方式保持着基准基板。

5.一种如权利要求1至4中的任何一项权利要求所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述基准基板具有若干个呈同样基准长度形式的所述基准部分。

6.一种如权利要求5所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述基准基板在直线方向上具有若干个呈同样基准长度形式的所述基准部分；

所述校正扫描控制部使用所述方向偏转部使所述电子束沿着所述直线，对包含位于所述基准基板上呈同样基准长度形式的若干个所述基准部分上的所述预定位置实施扫描；

而且所述对应关系检测部对所述电子束分别照射至若干个所述基准部分处的若干个照射时间实施检测，进而依据该若干个时间和所述基准部分的长度，对所述电子束的扫描时间和长度间的对应关系实施检测。

7.一种如权利要求1至6中的任何一项权利要求所述的电子束长度测量装置，其特征在于，所述基准基板具有若干个基准长度彼此不同的所述基准部分。