[发明专利]使用连续淀积技术淀积难熔金属层的方法与装置

摘要

形成难熔金属层的方法和系统,其特征在于通过连续淀积技术对衬底成核,在该连续淀积技术中,衬底依次暴露于第一和第二反应气体中,随之形成层,通过气相淀积,对成核层进行化合物的大块淀积,该化合物包含于第一和第二反应气体中。所有的处理步骤可以在相同或者不同的处理室内进行。例如,成核可以在不同于进行大块淀积的处理室的处理室内进行。还公开了用于控制所得到的层中的氟原子的存在的技术,该氟原子的存在在成核的过程中为所用载体气体的函数。

主权项

1.一种在置于处理室内的衬底上形成层的方法，该方法包含：通过依次将所述衬底暴露于第一和第二反应气体中以形成成核层；通过气相淀积对所述成核层进行化合物的大块淀积，在所述成核层上形成大块淀积物层，该化合物包含于所述第一和第二反应气体其中之一。