[发明专利]母液选择沉淀法制备集成电路

摘要

在制备集成电路的过程中,在具有第一表面和第二表面的基板上涂敷母液,并处理该液体以选择性地形成固体薄膜。所述第一表面与第二表面有不同的物理性质,使得在第一表面上形成固体薄膜,而在第二表面上不形成薄膜。在形成固体薄膜后,洗涤该基板,以从基板的第二表面上除去残留的液体。

主权项

1、一种在集成电路(10)中制备固体薄膜(14)的方法，其步骤包括：提供一个具有第一基板表面(4)和第二基板表面(6)的基板，所说的第一基板表面(4)至少有一种物理性质与所说的第二基板表面(6)的相应的物理性质不同；采用液体沉淀方法在所说的基板(8)上涂敷母液，以便在所说的基板(8)上形成涂层(11、13)；以及处理所说的基板(8)上的涂层(11、13)；其特征在于：选择一种母液以及母液的沉淀方法，使得采用所说的液体沉淀方法，将所说的母液涂敷在所说的第一基板表面(4)和第2二基板表面(6)上；处理所说的母液，在所说的第一基板表面(4)上形成所说的固体薄膜(14)，同时，处理所说的母液，在所说的第二基板表面(6)上不形成所说的固体薄膜。