[发明专利]缺陷检查系统无效
| 申请号： | 00803250.5 | 申请日： | 2000-11-28 |
| 公开（公告）号： | CN1339140A | 公开（公告）日： | 2002-03-06 |
| 发明（设计）人： | 田中利彦 | 申请（专利权）人： | 奥林巴斯光学工业株式会社 |
| 主分类号： | G06T1/00 | 分类号： | G06T1/00;G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的缺陷检查系统具有图像取得装置,用于取得在制造工序中作为处理对象的被检查物体的二维图像;缺陷抽取装置,用于对该图像取得装置所取得的图像按照采用规定参数的缺陷抽取算法来抽取缺陷;显示装置,用于显示由该缺陷抽取装置抽取的上述被检查物体的缺陷图像;参数调整装置,用于根据对上述被查物体的缺陷抽取程度来调整上述参数;以及合格与否判断装置,用于根据由上述被检缺陷抽取装置所抽取的缺陷的信息来判断上述被检查物体是否合格。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 检查 系统 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷检查系统，其特征在于具有：图像取得装置，用于取得在制造工序中作为处理对象的被检查物体的二维图像；缺陷抽取装置，用于对该图像取得装置所取得的图像按照采用规定参数的缺陷抽取算法来抽取缺陷；显示装置，用于显示由该缺陷抽取装置抽取的上述被检查物体的缺陷图像；参数调整装置，用于根据对上述被检查物体的缺陷抽取程度来调整上述参数；以及合格与否判断装置，用于根据由上述缺陷抽取装置所抽取的缺陷的信息来判断上述被检查物体是否合格。
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