[发明专利]缺陷检查系统

权利要求书

1.一种缺陷检查系统，其特征在于具有：

图像取得装置，用于取得在制造工序中作为处理对象的被检查物体的二维图像；

缺陷抽取装置，用于对该图像取得装置所取得的图像按照采用规定参数的缺陷抽取算法来抽取缺陷；

显示装置，用于显示由该缺陷抽取装置抽取的上述被检查物体的缺陷图像；

参数调整装置，用于根据对上述被检查物体的缺陷抽取程度来调整上述参数；以及

合格与否判断装置，用于根据由上述缺陷抽取装置所抽取的缺陷的信息来判断上述被检查物体是否合格。

2.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述合格与否判断装置具有，对由上述缺陷抽取装置所抽取的缺陷信息与缺陷词典中所登录的缺陷数据进行对照，并判断出上述缺陷的种类；及把新出现的缺陷数据登录到上述缺陷词典内的功能。

3.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述参数调整装置由滑动开关构成，该开关显示是在上述显示装置的画面上用于调整参数的，该滑动开关和上述被检查物体的图像同时显示在上述显示装置的画面上。

4.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述缺陷抽取装置具有预先自动设定参数的功能，该参数用于判断缺陷已知的被检查物体。

5.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述合格与否判断装置对上述被检查物体的图像进行是否合格的判断，该被检查物体图像是按照上述参数调整装置所设定的参数，由上述缺陷抽取装置进行缺陷抽取后而获得的。

6.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置具有把上述缺陷抽取装置所抽取的许多个被检查物体图像加以缩小进行一览显示的功能。

7.如权利要求6所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置对把图像缩小后而形成的缩小预显示(thumbnail)图像进行一览显示。

8.如权利要求7所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置对每批存放上述被检查物体的片盒分别显示上述缩小预显示图像。

9.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置，在与上述缺陷抽取装置所抽取的许多被检查物体的图像进行显示的区域不同的区域内，显示出由上述合格与否判断装置判断为不合格的被检查物体的图像。

10.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置，把由上述缺陷抽取装置所抽取的缺陷重合到上述被检查物体的图像上进行显示。

11.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置，对各个图像分别用颜色或文字来显示出由上述合格与否判断装置进行合格与否判断的结果。

12.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置，对上述缺陷按其种类不同分别用不同颜色加以区分进行显示。

13.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置，对于利用由上述参数调整装置更改后的参数进行抽取的缺陷，更改该缺陷颜色而进行显示。

14.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述规定的参数是根据缺陷的种类、检查条件或检查方法进行准备。

15.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述参数调整装置，能对上述规定的参数设定下限值和上限值，上述缺陷抽取装置，把超过上述下限值的图像数据中超过上述上限值的作为缺陷抽取出。

16.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述缺陷抽取装置具有对由上述显示装置指定的缺陷进行登录的功能。

17.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置具有根据由上述参数调整装置更改后的参数来显示上述被检查物体的图像的功能。

18.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置具有显示缺陷种类的列表框，在指定了该列表框内所显示的任一种缺陷的情况下，显示出与该被指定种类相对应的缺陷。

19.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置在进行了规定操作时，重新显示出由上述参数调整装置更改参数之前的图像。

20.如权利要求1所述的缺陷检查系统，其特征在于：上述显示装置对于已由上述合格与否判断装置判断为合格的被检查物体的图像框的颜色加以改变后进行显示。