[实用新型]化学气相沉积金刚石均质喷嘴无效
| 申请号： | 00236609.6 | 申请日： | 2000-05-24 |
| 公开（公告）号： | CN2423289Y | 公开（公告）日： | 2001-03-14 |
| 发明（设计）人： | 周兵;陈继锋;刘志平;刘广录;郭松寿;张柏春 | 申请（专利权）人： | 北京天地东方金刚石技术有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C16/27 | 分类号： | C23C16/27 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 1000*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴,是包含有一进料均质片,在该进料均质片的中间位置开有两个进料口;一共振均质片,在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口;一出料均质片,在该出料均质片的中间位置开有一出料口;将所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。本实用新型具有成本低、加工制作容易和使用效果好的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 化学 沉积 金刚石 喷嘴 | ||
【主权项】：
1．一种化学气相沉积金刚石均质喷嘴，其特征在于，是包含有：一进料均质片，在该进料均质片的中间位置开有两个进料口；一共振均质片，在该共振均质片的中间位置开有一共振腔口；一出料均质片，在该出料均质片的中间位置开有一出料口；所述进料均质片、共振均质片、出料均质片依次叠置形成均质喷嘴。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
