[发明专利]蒸镀装置无效
| 申请号： | 00102370.5 | 申请日： | 2000-02-17 |
| 公开（公告）号： | CN1265431A | 公开（公告）日： | 2000-09-06 |
| 发明（设计）人： | G·克莱姆;H·诺德特 | 申请（专利权）人： | 莱博德系统股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 赵辛 |
| 地址： | 联邦德*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种蒸镀装置,用来将一种分离剂蒸镀到一薄膜涂层设备中的薄膜(2)上,它有一个图案载体(1),该图案载体由疏松材料制成。上述图案载体(1)形成一个蒸汽室(9),而且在一个大部位上由薄膜(2)所缠绕,所以分离剂蒸汽可以经过一个相应大的范围通过图案载体(1)而到达被蒸镀的薄膜(2)上。图案载体(1)的未被薄膜(2)覆盖的部位则由一个石墨制的模体(5)掩盖,该模体是电加热的,因而可以借此加热图案载体(1)。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种蒸镀装置，用来将一种分离剂蒸镀到一薄膜涂层设计中的薄膜上，该涂层设备有一个以加热器加热的用于分离剂的蒸发容器和一个可旋转地安置的圆筒状的图案载体，此图案载体在其外壳表面上有一些通孔，用于将分离剂蒸汽导向被蒸镀的薄膜，其中，薄膜将图案载体部分地缠绕，而图案载体则随薄膜的进给速度同步旋转，其特征在于：图案载体(1)形成一个与蒸发容器相连通的蒸汽室(9)，图案载体(1)的外壳表面上的通孔(11)由薄膜(2)的缠绕部位和其余由一个模体(5)所掩盖，该模体为了形成一个窄间隙(6)以很小的间距沿着图案载体(1)的外壳表面伸延。
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