[发明专利]蒸镀装置

说明书

本发明涉及一种蒸镀装置，用于将一种分离剂蒸镀到一薄膜涂层设备中的薄膜上，该设备配有一个用于分离剂的以一加热器加热的蒸发容器和一个可旋转地安置的圆筒形图案载体，该载体在其外壳面上具有许多通道，以之用来将分离剂蒸汽导引到被蒸镀的薄膜上，其中，该薄膜部分地缠绕着图案载体，而图案载体则跟随薄膜的进给速度同步旋转。

上述这种蒸镀装置是DE 197 34 477的内容。按该文件附图6至10中所示的蒸镀装置，在图案载体的内部，一个与蒸发容器相连的分离剂喷嘴直接安置在图案载体内壳面之前。所输送来的分离剂从上述分离剂喷嘴流出，通过图案载体的遮盖着分离剂喷嘴的部位，流向被蒸镀的薄膜。其缺点是：只是很短的时间间隔可供薄膜的蒸镀使用，这一时间间隔是从喷嘴的宽度和薄膜的进幅速度以及图案载体的圆周速度中求得的。为了仍然能够在薄膜上生产出足够厚的分离剂层，薄膜的进幅速度必须选择得相对的小，以使蒸镀装置的效率相应地小。此外，固定的分离剂喷嘴的密封给旋转的图案载体带来一些困难，并导致磨损。

本发明要解决的目的是：如此设计本说明书开头述及的那种蒸镀装置，使得利用它能达到尽可能高的蒸镀效率。

根据本发明，上述目的是采取以下措施加以解决的：图案载体形成一个与蒸发容器相连通的蒸汽室，图案载体外壳面上的通孔由薄膜的缠绕部位和其余由一个模体加以覆盖，该模体为了形成一个很窄的间隙以很小的间距沿着图案载体的外壳面伸展。

因为根据本发明放弃了图案载体内部的分离剂喷嘴，而且图案载体形成了一个蒸汽室，所以图案载体的外壳面就有一个大的部位用于分离剂的输出。因此，薄膜可以在缠绕图案载体的整个部位上，而不是像DE197 34 477提出的装置那样只在分离剂喷嘴的窄的部位上由分离剂所蒸镀。在图案载体的未被薄膜缠绕的部位，模体的作用在于：使得从图案载体中没有分离剂蒸汽出来并污染设备，蒸镀装置便是安置在该设备中。本发明能够按照准确的量并以良好的尺寸精确性将分离剂蒸镀到一个薄膜上，从而防止在上述部位中此后的金属化。由于根据本发明不需要单独的分离剂喷嘴，所以也就无需这种喷嘴和图案载体之间的密封。

图案载体可以设计成很不相同的构形。例如它可以是一个金属圆筒，在此圆筒上用于分离剂蒸汽的通孔可以设计成具有样品载体外壳面的透孔的形状。图案载体的制造在生产成本上是特别有利的，而且不同图案的设计费用也是很少的，其条件是根据本发明的一项有利的改进，图案载体是用一种疏松材料制成的，这种材料在外侧有一薄的金属层；图案载体上的通孔是通过对该金属层的雕刻或蚀刻而制作出来的。在上述这种样品载体上，外表的金属层起着掩膜的作用。

经过模体和图案载体外壳表面之间的间隙而泄出分离剂蒸汽的现象，可以根据本发明的另一项改进加以防止：模体具有一个保护气体接头，该接头与模体和图案载体外壳表面之间的间隙相连通。

为了防止分离剂蒸汽凝聚在图案载体的壁上，图案载体通常必须加热。如果模体以电加热，则可特别合算地实现上述目标。这种加热所需费用甚少，这是因为模体的情况与图案载体相反，它可以是一个固定的结构部分，又因为模体一直可以直接达到图案载体的外壳表面，从而可通过辐射实现良好的热传递。

如果模体用石墨制成，并直接通过电流加热，则可特别合算地实现图案载体的加热。

图案载体具有一足够的疏松度，而且例如可在其外壳表面上以电镀方式施加厚度为10至100μm具有形成图案的通孔的金属层，该金属层是由铜、镍或铬形成的，与此同时图案载体是用碳纤维增强的碳制成的。

如果通过模体加热尚不够的话，还可在上述那种图案载体的情况下实施一种辅助加热，其做法是：图案载体利用直接通电从一个端面到另一个端面进行电加热。

图案载体的精确温度调节是可以实现的，只要为此在离图案载体很小距离处设置一个高温计便可。

分离剂蒸汽从固定的蒸发容器引入到旋转的图案载体中，所需费用甚少，其条件是根据本发明的另一项有利的改进，图案载体在其一端以一个空心轴插入一个密封的与蒸发容器相连的轴承头中。

蒸发容器可以具有用于分离剂的很小的容积，所以蒸发率可以经过加热功率而迅速加以调整，所需的条件是：蒸发容器经过一条补充导管和一条压力平衡导管与分离剂的储存容器相连通。

本发明可允许不同的结构形式。为了进一步阐明它们的基本原理，将其中一种结构形式示意地描示在附图中，并在下面加以说明。附图表示：

图1本发明的图案载体的示意侧视图，带有与之相邻接的结构部分；

图2图案载体外壳表面一个部位的载面图，相对于图1所示放大其尺寸比例；