[发明专利]蒸镀装置

权利要求书

1.一种蒸镀装置，用来将一种分离剂蒸镀到一薄膜涂层设计中的薄膜上，该涂层设备有一个以加热器加热的用于分离剂的蒸发容器和一个可旋转地安置的圆筒状的图案载体，此图案载体在其外壳表面上有一些通孔，用于将分离剂蒸汽导向被蒸镀的薄膜，其中，薄膜将图案载体部分地缠绕，而图案载体则随薄膜的进给速度同步旋转，其特征在于：图案载体(1)形成一个与蒸发容器相连通的蒸汽室(9)，图案载体(1)的外壳表面上的通孔(11)由薄膜(2)的缠绕部位和其余由一个模体(5)所掩盖，该模体为了形成一个窄间隙(6)以很小的间距沿着图案载体(1)的外壳表面伸延。

2.如权利要求1中所述的蒸镀装置，其特征在于：图案载体(1)是用一种疏松材料做成的，它在其外表上有一层薄的金属层(10)；在图案载体(1)上的通孔(11)是通过对金属层(10)的雕刻或蚀刻制成的。

3.如权利要求1或2中所述的蒸镀装置，其特征在于：模体(5)有一个保护气体接头(7)，该接头与模体(5)和图案载体(1)的外壳表面之间的间隙(6)相连。

4.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：模体(5)是电加热的。

5.如权利要求4中所述的蒸镀装置，其特征在于：模体(5)是用石墨做的，并通过直接通电加热。

6.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：图案载体(1)是用以碳纤维增强的碳做成的。

7.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：图案载体(1)利用直接通电从一端到另一端进行电加热。

8.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：为了图案载体(1)的温度调节，在离图案载体(1)很小距离处设置了一个高温计(20)。

9.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：图案载体(1)在一端以一个空心轴(8)插入一密封的轴承头(12)中，该轴承头与蒸发容器(14)相连通。

10.如以上权利要求的至少一项所述的蒸镀装置，其特征在于：蒸发容器(14)经过一条补充供给导管(16)和一条压力平衡导管(17)与一分离剂储存容器(18)相连。