[发明专利]稀土化合物浆料及金刚石厚膜的表面刻蚀方法无效
| 申请号： | 99124562.8 | 申请日： | 1999-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1087040C | 公开（公告）日： | 2002-07-03 |
| 发明（设计）人： | 王佳宇;陈宏宇;白亦真;金曾孙 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | C30B33/08 | 分类号： | C30B33/08 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 | 代理人： | 王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 稀土 化合物 浆料 金刚石 表面 刻蚀 方法 | ||
【权利要求书】：
1、一种用于金刚石厚膜表面刻蚀的稀土化合物浆料，其特征是，其成分包括铈和镧的氧化物或盐为原料，松油醇、柠檬酸、乙基纤维素或它们的混合物为调和剂混合而成；铈化合物、镧化合物、柠檬酸、乙基纤维素的质量比为1∶(1～0.3)∶(0.2～0.18)∶(0.1～0.05)，松油醇用量以将浆料调和成粥状为准。
2、按照权利要求1所述的稀土化合物浆料，其特征是，所说的铈、镧的氧化物或盐是CeO2和La(NO3)3·6H2O。
3、一种稀土化合物浆料在金刚石厚膜表面刻蚀中的应用，其特征是，按下列步骤进行：将稀土化合物浆料印刷于金刚石厚膜生长表面上；在400～600℃下烧结2～5小时；最后用硫酸清洗金刚石厚膜表面的烧结区。
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