[实用新型]钟罩式退火炉气密装置

权利要求书

1、钟罩式退火炉气密装置，包括有底座(1)、内锅罩(2)、加热炉罩(3)和气密结构(4)，其特征在于所述的气密结构(4)是在内锅罩(2)下端设有周边向外伸出的水平突缘(21)，环绕突缘(21)上设有环形冷却水套(22)，在冷却水套(22)上设有两道与加热炉罩(3)底面相密接的玻璃耐热垫圈(24)，在突缘(21)下方焊有二道环形铁条(23)，铁条(23)分别位于底座(1)外侧所设的环形耐热橡胶垫圈(11)上，耐热垫圈(11)与底座(1)周边向外伸出的环形延伸板(15)间，设有冷却耐热垫圈(11)用的环形冷却水套(12)，在突缘(21)下表面和底座(1)的延伸板(15)上表面间的空间(40)内，插有为形成正气压用的气体输入管(41)和气体输出管(42)。

2、按权利要求1所述的钟罩式退火炉气密装置，其特征在于所述的气体输入管(41)上接有一开关阀(45)，气体输出管(42)上接有一压力开关(43)和维持恒压用的零调压器(44)。