[发明专利]电子元件检验的方法

说明书

本发明涉及电子元件的检验。

当半导体电子元件离开生产线时，这时它们仍然被一起连接在一个晶片上和/或成为组件的状态，组件包装或没包装，很可能呈带状布置，半导体电子元件将由一台检验机进行检验。

检验机包括分别布置的电极，以便与电子元件的导电区域(范围)相接触。通过机器的检验装置所配置的接口信号被加在这些电极上，并且被它们所接收。

这台检验机包括一套电子模块和软件程序，其通常的功能就是比较每个被测值与一个参考值或区间(或有效值范围)；以便一般性的判定这个元件是完好的还是有缺陷的。更精确的判定，例如当同样元件被一起制造出来再按不同的容许偏差范围来保证时可以做到。

更具体的说，软件程序可能被装入一个库中，该库中包括各种工具、一个常数、变量的定义以及尤其是对于参考间隔的数据表格(多元组)、为获得测量的一系列元素的检验以及它们与参考间隔的比较值，以及最后的判定机构。

一系列的基本检验被存储在检验装置的存储器中，并细分为由一个程序装置管理的几个步骤。因此每个检验通常包括下列步骤：

a)根据所选定的基本检验的性能配置接口。(这个步骤包括电极的选定，选择的电信号必须加到电极上)

b)当施加用于基本检验的电信号(或多个信号)后需要等待一个与检验相对应的第一标称确定稳定周期(或至少第一个稳定周期中最长的周期)。

c)在指定的电极上，有选择地接收由基本检验指定的电测量值并表示元件对选定的电信号的响应值。

d)如果需要，还要等待与基本检验相对应的一个第二个确定测量周期(或者至少是第二个测量周期中最长的一个周期)顺便在检验机上指示电量的测量值是稳定的。

e)读出由基本检验指定的一个电量测量值或多个电量测量值，以及

f)比较所测量的电量值和与基本检验相对应的有效值范围。

这种方法，例如在文献DE-A-3530308中被描述过，由于进行检验操作的数量通常很大，由第一和可能第二等待阶段(或周期)时间相加在一起的整个等待时间是很长的。(每个等待阶段至少持续几毫秒)这在不断寻求更高生产率的工业生产中是个主要问题。

由于质量一直比生产率更重要，事实上在一次检验操作中每个初步等待阶段的持续时间是确定在更高的一侧，这使等待问题更进一步恶化。因为这个预防措施使得它可能覆盖两批产品之间变化的全部范围。

因此本发明的一个目的就是使在前言中叙述的这种类型的电子元件检验机的等待阶段的持续时间能够减少。

为此，本发明提出了电子元件检验的一种方法如下，其中：

在一个初始日期为这些元件的电极提供电压。

在测量日期的测量值由建立在这些元件端子上的电压值组成。

这些测量值和标准值进行比较，以便根据该比较确定采用或者不采用这个元件。

其特征在于，对于比较结果，在初始学习阶段：

在与这个初始日期后的一个标称等待持续时间相对应的一个标称日期，为验收的一批元件和一个给定的检验确定一个标称的测量值统计像点(image)。

在至少一个标称等待持续时间结束之前或之后对于这个验收的批量确定一个测量值的中间统计像点。

使用一个标准，通过比较标称值和测量值的中间统计像点，选择在测量持续时间期间尽可能最早的中间日期。并且，

选择尽可能最早的中间日期作为检验的测量日期。

在本发明中，等待持续时间是标称持续时间，在其后电压稳定地加在元件的端子上。这个持续时间实际上在元件的技术说明书中指明。一个合格的元件，也称一个要被接受的元件还是一个验收的元件。这类元件可能单独被标识，更一般地说，要被验收的元件实际上是：它的特性是由对一组被视为分别合格的元件的统计测量结果。或者说，要被验收的元件的特性是对去掉了异常测量后的一组元件的统计测量得到的结果。

在本发明中，已经学习到寻找最早日期的最好的方法在于在给定的测量日期在给定检验的样本上进行的一项统计研究，并在于寻找一个与其它测量时间相容的统计分布。

因此，在一个最佳实施例中，对于一个给定的整体，即一个给定检验的给定的样品，在一个给定的测量日期进行一项计算。首先计算测量值的平均值，参考M，然后计算测量的一个偏差，参考S(用于∑(sigma))。可以认为可以选择象中间值或者第一、第二、第三、第四分点的一个平均值，或者这些平均值或类似值中之间的差值这样的其它统计元素。目前，应该注意这些有用的元素将是平均值和标准偏差值。