[发明专利]引线框输送装置和由该装置组成的线键合设备

权利要求书

1．一种用于移动引线框的输送装置，其包括：

(a)前机械手，用以由输送位置移动引线框，所述前机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板；

(b)工作台，其具有传感器，用以检测引线框，以便控制移动引线框的速度，并且其中输送位置上的引线框可通过前机械手的作用来放置；和

(c)后机械手，用以将引线框由工作台移动到供给位置，所述后机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板。

2．按照权利要求1的输送装置，其特征在于，前和后机械手的所述垂直和水平汽缸均是气动式汽缸。

3．按照权利要求1的输送装置，其特征在于，前和后机械手的所述水平汽缸带有止挡件，用以控制引线框的运动距离。

4．按照权利要求1的输送装置，其特征在于，前和后机械手的所述垂直汽缸可借助于板、垂直轴和连接棒而连接到所述板上。

5．一种用以将半导体芯片电连接到引线框上的线键合设备，所述线键合设备包括：

导轨，在引线框的引线电连接到芯片上之前，可使带有芯片的引线框在其上并沿其以一定方向移动；

引线框装载部件，用以移动引线框，所述引线框装载部件包括：(a)前机械手，用以由输送位置移动引线框，所述前机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板；(b)工作台，其具有传感器，用以检测引线框，以便控制移动引线框的速度，并且其中输送位置上的引线框可通过前机械手的作用来放置；和(c)后机械手，用以将引线框由工作台移动到供给位置，所述后机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板；和

引线框卸载部件，用以在电连接之后将带有芯片的引线框移动到所述输送导轨上，所述引线框卸载部件包括：(d)前机械手，用以由输送位置移动引线框，所述前机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板；(e)工作台，其具有传感器，用以检测引线框，以便控制移动引线框的速度，并且其中输送位置上的引线框可通过前机械手的作用来放置；和(f)后机械手，用以将引线框由工作台移动到供给位置，所述后机械手具有放置引线框的板；垂直汽缸，用以在垂直方向上移动板；和水平汽缸，用以在水平方向上移动板。

6．按照权利要求5的线键合设备，其特征在于，前和后机械手的所述垂直和水平汽缸均是气动式汽缸。

7．按照权利要求5的线键合设备，

其进一步包括用于检测引线框的传感器，其特征在于，提供在引线框装载部件附近和引线框卸载部件附近的输送导轨上；和

其特征在于，所述水平和垂直汽缸的运动可通过由所述传感器所获得的信息来控制。

8．按照权利要求5的线键合设备，其特征在于所述键合头带有引线框供给导轨；并且引线框装载部件和引线框卸载部件带有导轨，其分别线性连接于所述引线框供给导轨上。

9．按照权利要求8的线键合设备，其特征在于，所述工作台被固定到所述导轨的一侧上。

10．按照权利要求9的线键合设备，其特征在于，所述引线框装载部件带有推动件，用以将导轨上的引线框移动到引线框供给导轨上。