[发明专利]等离子显示板及其制造方法

说明书

本发明涉及一种等离子显示板，特别涉及一种衬底本身带有隔板(Barrier rib)的等离子显示板及其制造方法。

图1是表示已有技术的等离子显示板的剖面图。参照图1，利用气体放电显示图像的等离子显示板包括一组平板的前面衬底1和后面衬底2。所述衬底的外部边缘部是密封的，两个衬底之间包含大量气体。在相互保持一定间隔的前面衬底1和后面衬底2的各内表面，相互垂直地排列和形成着带状(Stripe)结构的阳极3和阴极4。在阳极3等的之间设有定义象素，并防止相邻象素间串话(Crosstalk)的隔板(Barrier Rib)5。

这种结构的等离子显示板的析像清晰度，其特性取决于前面衬底1和后面衬底2之间的内部结构、填充其间的气体的种类、阴极的形状以及材料、与前面衬底接触的隔板面的平坦度等。

特别是在显示图像时，为防止由放电单元间的光扩散引起的色彩渗透而形成有隔板，此时对隔板面的平坦度有要求。

作为形成这种隔板的方法，有丝网印刷法、转印法和正在开发之中的喷砂(Sand Blasting)法。

丝网印刷法是在衬底上覆盖上掩模，再涂敷上粘液状态的隔板物质，然后烧制而形成隔板的。这时，为了调节隔板的高度，有时需要进行多次印刷。但是由于构成掩模的网的弯曲性质，采用丝网印刷法存在很难形成大面积和高精度的隔板的问题。

转印法是在形成用于形成隔板的掩模图案的状态下，在此图案上通过连续转印隔板用物质而形成隔板的方法。由于这种方法清晰度有限，因而存在不适合应用在SVGA级的高清晰度电视(HDTV：High DefinitionTelevision)的问题。

喷砂法(Sand Blaster)是在衬底上均匀地涂敷隔板物质，然后用喷砂机磨去隔板部分以外部分的方法。使用这种方法除去不是隔板的部分时，为了不将隔板部分一起磨去，必须预先附着用曝光法形成图案的保护层。但是，采用这种方法，由于在使用像砂子一样又硬又小的颗粒强烈碰撞以磨去不需要的部分时，也会透过保护层使隔板面受到机械性的损伤，所以很难形成均匀的隔板。因此，为了不损伤电极和保护层、使隔板以外的部分容易地被磨去，则必须开发电极物质和感光膜物质，这是这种方法存在的问题。

本发明的目的在于提供一种能够形成稠密均一的隔板的等离子显示板及其制造方法。

为实现上述目的，本发明提供一种等离子显示板的制造方法，其特征在于该方法包括以下步骤：

提供具有边缘部分和多个带状型沟的透明绝缘衬底；

在所述各沟的沟底的表面上依次形成沿带状沟的纵向延伸布置的透明电极和荧光体层；

以牺牲层全面涂敷所得结构，形成平坦的牺牲层上表面；

在衬底的边缘部分，在所述涂敷的牺牲层中形成多个使所述透明绝缘衬底的部分表面露出的穿孔；

在所述穿孔和所述牺牲层的整个表面沉积电极材料层，以将所述穿孔充分埋没；

对沉积的电极材料层进行有选择的蚀刻，形成垂直于所述的透明电极的电极，该电极包括埋没所述穿孔的电极材料部分；

除去牺牲层，以在透明电极和垂直于透明电极的电极之间形成间隔。

本发明另一方面提供一种等离子显示板，包括：一透明绝缘衬底，其具有边缘部分，在所述边缘部分之间的多个带状型沟、以及在所述沟之间提供的起隔板作用的部分；透明纵电极，其沿沟底纵向布置；在所述透明纵电极上形成的荧光体层；间隔地排列成带状的横电极，其与所述透明纵电极垂直；以及位于衬底的边缘部分的支持体，用于支持横电极。

附图的简要说明如下：

图1是表示已有的等离子显示板的概要剖面图。

图2A至图2F是用以说明本发明的等离子显示板的制造方法的工序流程图。

图3是根据图2的方法形成等离子显示板的平面图。

下面根据附图说明本发明的优选实施例。

图2是通过实施例说明本发明涉及的等离子显示板的隔板的形成方法的工序流程图。

参照图2A，在为了形成等离子显示板而准备的上下透明衬底10中的任意一个上，以规定的厚度涂敷感光膜11。

参照图2B，通过通常的照相蚀刻工序(曝光及显象)而形成感光膜图案11′。

参考图2C，以规定的深度蚀刻露出的透明衬底10。这时，蚀刻的方法采用使用等离子体的干式蚀刻法。

参照图2D，通过剥离感光膜掩模11′，在透明衬底自身上形成隔板。