[实用新型]一种用于真空制膜设备的活化气体装置无效
| 申请号： | 96219046.2 | 申请日： | 1996-09-16 |
| 公开（公告）号： | CN2265985Y | 公开（公告）日： | 1997-10-29 |
| 发明（设计）人： | 吕惠宾;杨国桢;周岳亮;王会生;陈正豪;崔大复;何萌 | 申请（专利权）人： | 中国科学院物理研究所 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100080 *** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 真空 设备 活化 气体 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空制膜设备的活化气体装置，包括放电管(1)、电极(2)，(3)、限流电阻(4)、电源(5)和法兰盘(6)，其特征在于：放电管(1)前端做成1-10个锥形喷嘴，用法兰(6)把放电管(1)密封固定在真空室内，放电管(1)的进气口(7)留在真空室外，高压电源(5)的输出端引入真空室与电极(3)相联，高压电源(5)的地端与电极(2)相联，限流电阻(4)与电极(3)和高压电源(5)的高压端相联。
2.按权利要求1所述的用于真空制膜设备的活化气体装置，其特征在于：还包括在放电管(1)外壁再烧封一个夹层水冷套。
3.按权利要求1所述的用于真空制膜设备的活化气体装置，其特征在于：所述的电源包括正高压电源、负高压电源、交流电源、射频高压电源。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院物理研究所，未经中国科学院物理研究所许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/96219046.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
