[发明专利]酚甲醛缩合物的分馏和由其生产的光敏抗蚀剂组合物

权利要求书

1.一种生产不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂的方法，所述方法主要由以下步骤组成：

A)提供10至40％(重)不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂在极性有机溶剂中的溶液；

B)通过规格小于1μm(微米)的过滤器过滤所述酚醛清漆树脂溶液；

C)使所述酚醛清漆树脂溶液通过阴离子交换树脂；

D)使所述酚醛清漆树脂溶液通过阳离子交换树脂；

E)将所得去离子酚醛清漆树脂溶液加入去离子(DI)水中，水与树脂溶液之比为65至35；

F)搅拌所述酚醛清漆树脂溶液/水混合物至少30分钟；

G)过滤所述混合物，然后用去离子水洗涤所述酚醛清漆树脂溶液得到滤饼；

H)将所得滤饼加入光敏抗蚀剂溶剂中至固体含量为40至65％(重)；

I)在真空下，在90℃至130℃的温度下，和在50mm至120mm的压力下，蒸出基本上所有残余的水和极性有机溶剂；

J)冷却剩余的酚醛清漆树脂溶液至25℃至45℃的温度；

K)调节所述酚醛清漆树脂溶液的固含量；

L)通过规格小于1μm(微米)的过滤器过滤所述酚醛清漆树脂溶液。

2.权利要求1的方法，其中A)的溶液包括15至35％(重)所述酚醛清漆树脂。

3.权利要求1的方法，其中A)的溶液包括20至30％(重)所述酚醛清漆树脂。

4.权利要求1的方法，其中A)的极性有机溶剂为甲醇、乙醇、丙酮或四氢呋喃。

5.权利要求1的方法，其中B)的过滤器规格为0.1微米至小于1.0微米。

6.权利要求1的方法，其中B)的过滤器规格为0.1微米至0.4微米。

7.权利要求1的方法，其中在E)中水与树脂溶液之比为55至45。

8.权利要求1的方法，其中在E)中经2至3小时的时间周期将所述树脂溶液加入去离子水中。

9.权利要求1的方法，其中在F)中将所述混合物搅拌至少45分钟。

10.权利要求1的方法，其中在F)中将所述混合物搅拌至少60分钟。

11.权利要求1的方法，其中在H)中所述固含量为45至60％(重)。

12.权利要求1的方法，其中在H)中所述固含量为50至55％(重)。

13.权利要求1的方法，其中在H)中所述光敏抗蚀剂溶剂为丙二醇一甲醚乙酸酯、丙二醇一乙醚乙酸酯或3-甲氧基-1-丁醇。

14.权利要求1的方法，其中在I)中在100℃至120℃的温度下蒸出残余的水和极性有机溶剂。

15.权利要求1的方法，其中在I)中在80mm至100mm的压力下蒸出残余的水和极性有机溶剂。

16.权利要求1的方法，其中在I)中在90mm至100mm的压力下蒸出残余的水和极性有机溶剂。

17.权利要求1的方法，其中在J)中将残余的溶液冷却至30℃至40℃的温度。

18.权利要求1的方法，其中在J)中将残余的溶液冷却至30℃至35℃的温度。

19.权利要求1的方法，其中在L)中过滤器规格为0.1微米至小于1微米。

20.权利要求1的方法，其中在L)中过滤器规格为0.1微米至小于0.4微米。