[发明专利]用于化学湿处理的装置

权利要求书

1、用于在一盛有处理液(23)的容器(21)中进行衬底(25)的化学湿处理的装置，其包含一用于导入和移出至少一个衬底载体(17)和衬底(25)的提升装置(1)，其特征在于提升装置(1)包含一用于衬底提升装置(16)的第一传输架(2)和用于衬底载体支架(17)的第二传输架(3)，此二者通过铰接连接(4)相互连接。

2、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：第一和第二传输架(2，3)可沿竖直导轨(10)移动。

3、根据前面任一权利要求所述的装置(20)，其特征在于：第一传输架(2)与驱动装置相连。

4、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：铰接连接(4)包含两个支架(5，6)，其中第一支架(5)与第一传输架(2)相连，而第二支架(6)与第二传输架(3)通过枢轴连接，与传输架(2，3)彼此远离相对的第一和第二支架(5，6)的末端通过枢轴(7)以枢轴的方式连接。

5、根据权利要求4所述的装置(20)，其特征在于：连接两支架(5，6)的枢轴的突出部分沿控制曲线(11)运动。

6、根据权利要求5所述的装置(20)，其特征在于：控制曲线(11)包含一平行于传输架(2，3)的运动方向延伸的直线部分(12)和与直线部分相连的曲线部分。

7、根据权利要求6所述的装置(20)，其特征在于：第一和第二传输架间的距离在枢轴(7)沿直线部分(12)运动时保持恒定。

8、根据权利要求6所述的装置(20)，其特征在于：当枢轴(7)沿曲线部分(13)运动时第一和第二传输架(2，3)间的距离会增大。

9、根据权利要求6所述的装置(20)，其特征在于：通过选择曲线部分(13)的形状从而使得第一和第二传输架(2，3)间的距离持续地增大。

10、根据权利要求6所述的装置(20)，其特征在于：通过选择曲线部分(13)端部的形状从而可使第二传输架(3)缓慢地停下。

11、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：第一传输架(2)与刀刃形提升装置(16)相连。

12、根据权利要求11所述的装置(20)，其特征在于当枢轴(7)沿控制曲线(11)的直线部分(12)运动时刀形提升装置(16)和衬底载体(17)被以同一速度提升。

13、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：当衬底(25)和在衬底载体(17)外的导轨(39)接合时第二传输架(3)被停止。

14、根据权利要求13所述的装置(20)，其特征在于：导轨形成于槽体(21)上的顶盖(22)内。

15、根据权利要求11所述的装置(20)，其特征在于：用刀刃形提升装置(16)在第二传输架(3)静止后来提升衬底(25)。

16、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：装置(20)被设计来作漂洗及/或干燥衬底(25)之用。

17、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于在干：燥过程中衬底及/或衬底载体接受气体，特别是异丙基乙醇和氮气的混合气的处理。

18、根据权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：提供一附加的可松可紧的锁定装置，其以刚性的方式将第一和第二传输架连接。

19、根据权利要求18所述的装置(20)，其特征在于：提供一个柱体，其用来锁定及/或松开锁定装置。

20、根据个权利要求1所述的装置(20)，其特征在于：在槽体(40)之上提供一个顶盖(42)，且该顶盖(42)包含一滴液防护装置。

21、根据权利要求20所述的装置，其特征在于：滴液防护装置为一滴液片(43)(图11)。

22、根据权利要求21所述的装置，其特征在于：滴液片(43)被设置在顶盖(42)的顶面(图11)。

23、根据权利要求20所述的装置，其特征在于：滴液防护装置(43，61)为一环绕顶盖(42)而设置的套环(61)(图12)。