[发明专利]LC元件，半导体装置及LC元件的制作方法

权利要求书

1、一种LC元件，其特征是，具有：

在半导体基片上形成的具有指定电感的栅极电极；

在上述栅极电极和上述半导体基片之间形成的绝缘层；

在上述半导体基片之内与上述栅极相对应而形成的沟道的一端附近形成的第一扩散区，以及

在上述半导体基片之内的上述沟道的另一端形成的第二扩散区；

其中，上述栅极电极和上述沟道起着电感器导体的作用，

上述栅极电极的电感和上述沟道的电感以及在它们之间形成的电容，以分布参数的方式存在着，

至少将上述沟道用作信号传送路径。

2、一种LC元件，其特征是，具有：

在半导体基片上形成的具有指定电感的栅极电极;

在上述栅极电极和上述半导体基片之间形成的绝缘层，以及在上述半导体基片之内与上述栅极电极相对应而形成的沟道的一端附近形成的扩散区;

其中，上述栅极电极和上述沟道起着电感器导体的作用，上述栅极电极的电感和上述沟道的电感以及在它们之间形成的电容，都以分布参数的方式存在着。

将上述栅极电极用作信号传送路径。

3、如权利要求1的LC元件，其特征是：上述栅极电极为螺旋形状。

4、如权利要求2的LC元件，其特征是：上述栅极电极为螺旋形状。

5、如权利要求1的LC元件，其特征是：上述栅极电极为蛇行形状。

6、如权利要求2的LC元件，其特征是：上述栅极电极为蛇行形状。

7、如权利要求1的LC元件，其特征是：上述栅极电极为直线形状或者曲线形状。

8、如权利要求2的LC元件，其特征是：上述栅极电极为直线形状或者曲线形状。

9、如权利要求1、3、5、7中任一项的LC元件，其特征在于：具有与上述第一扩散区电连接的第一输入输出电极;

与上述第二扩散区电连接的第二输入输出电极;以及

电连接到上述栅极电极一端附近的接地电极;

从上述第一和第二输入输出电极的任一个输入信号、从另一个电极输出信号;同时，把上述接地电极接到固定电位的电源上或者接地。

10、如权利要求2、4、6、8中任一项的LC元件，其特征在于：具有

电连接到上述栅极电极一端附近的第一输入输出电极;

电连接到上述栅极电极另一端附近的第2输入输出电极，以及与形成在上述沟道的一端附近的上述扩散区电连接的接地电极;

从上述第一和第二输入输出电极中的任意一个输入信号、从另一个输出信号，同时，把上述接地电极连接到固定电位的电源上或者接地。

11、如权利要求1、3、5、7中任一项的LC元件，其特征在于：具有

电连接到上述第一扩散区的第一输入输出电极;

电连接到上述第二扩散区的第二输入输出电极;

电连接到上述栅极电极一端附近的第三输入输出电极;以及

电连接到上述栅极电极另一端附近的第四输出电极;以及

可以被用作把上述沟道和上述栅极电极两者均作为信号传送路径的共模型器件。

12、如权利要求1、3、5、7中任一项中的LC元件，其特征在于：

仅仅把上述沟道用作上述信号传送路径，

把上述栅极电极分割成多数个，并将被分割的多个栅极电极片分别电互连，对与被分割的电极之间相应的部分预先注入载流子以使上述沟道不断开。

13、如权利要求9的LC元件，其特征在于：

仅仅把上述沟道用作上述信号传送路径，

把上述栅极电极分割成多数个，并将被分割的多个栅极电极片分别电互连，对与被分割电极之间相应的部分预先注入载流子以使上述沟道不断开。

14、如权利要求2、4、6、8中任一项的LC元件，其特征在于：

通过预先把载流子注入到一部分形成的上述沟道的位置中，把对应于上述栅极电极形成的上述沟道分割成多个，并在被分割的各个沟道的一端附近设置上述第一扩散区或上述第二扩散区，再将这些多个第一扩散区或第二扩散区电互连。