[实用新型]一种处理装置和薄膜沉积设备

权利要求书

1.一种处理装置(100)，其特征在于，包括具有处理腔(114)的壳体(110)、基板(180)和对中调节组件(150)，所述基板(180)位于所述处理腔(114)，所述对中调节组件(150)与所述基板(180)驱动配合，所述对中调节组件(150)用于驱动所述基板(180)相对所述处理腔(114)移动，以使所述基板(180)与所述处理腔(114)的中心对中。

2.如权利要求1所述的处理装置(100)，其特征在于，所述壳体(110)具有与所述处理腔(114)连通的开口，所述处理装置(100)还包括活动设置于所述开口的支撑组件(140)，所述基板(180)经所述支撑组件(140)与所述壳体(110)活动连接，所述对中调节组件(150)位于所述壳体(110)外部，且所述对中调节组件(150)通过所述支撑组件(140)与所述基板(180)驱动配合。

3.如权利要求2所述的处理装置(100)，其特征在于，所述支撑组件(140)包括支撑件(130)和用于封闭所述开口的固定基座(120)，所述固定基座(120)与所述基板(180)固定连接，所述支撑件(130)与所述固定基座(120)连接，所述支撑件(130)活动设置于所述壳体(110)的外壁，所述对中调节组件(150)与所述支撑件(130)驱动连接。

4.如权利要求3所述的处理装置(100)，其特征在于，所述对中调节组件(150)包括细牙螺钉，所述细牙螺钉的一端与所述壳体(110)外壁抵接，所述细牙螺钉的另一端与所述支撑件(130)上的螺孔螺纹连接，所述细牙螺钉用于驱动所述支撑件(130)沿水平方向移动；

或，所述细牙螺钉的一端与所述壳体(110)外壁的螺孔螺纹连接，所述细牙螺钉的另一端与所述支撑件(130)的抵接，所述细牙螺钉用于驱动所述支撑件(130)沿水平方向移动。

5.如权利要求4所述的处理装置(100)，其特征在于，在所述细牙螺钉上设置有第一对中标识，在所述壳体(110)或所述支撑件(130)上设置有第二对中标识，以在所述基板(180)与所述处理腔(114)的中心对中时，所述第一对中标识与所述第二对中标识对齐。

6.如权利要求3所述的处理装置(100)，其特征在于，所述支撑组件(140)还包括水平调节组件(170)，所述支撑件(130)经所述水平调节组件(170)与所述固定基座(120)连接，所述水平调节组件(170)用于调节所述固定基座(120)与所述支撑件(130)之间的距离，以使所述基板(180)的板面与水平面平行。

7.如权利要求6所述的处理装置(100)，其特征在于，所述水平调节组件(170)包括变径螺杆(171)，所述支撑件(130)与所述变径螺杆(171)的一端螺纹连接，在所述固定基座(120)开设有贯穿孔(121)，所述固定基座(120)经所述贯穿孔(121)套设于所述变径螺杆(171)的外周，且所述变径螺杆(171)的变径部(174)与所述贯穿孔(121)一端的孔口处抵接。

8.如权利要求7所述的处理装置(100)，其特征在于，所述水平调节组件(170)还包括螺接于所述变径螺杆(171)上的自锁螺母(173)，所述自锁螺母(173)用于与所述支撑件(130)抵接以使所述变径螺杆(171)锁定。

9.如权利要求7所述的处理装置(100)，其特征在于，在所述变径螺杆(171)上还螺接有固定螺母(172)，所述固定螺母(172)与所述贯穿孔(121)背离所述变径部(174)的另一端孔口抵接；所述贯穿孔(121)相对两端的孔口处分别设置有第一球形面(1211)，所述变径部(174)和所述固定螺母(172)分别具有第二球形面，所述固定螺母(172)经所述第二球形面与所述第一球形面(1211)接触以与对应的所述孔口处抵接，所述变径部(174)经所述第二球形面与所述第一球形面(1211)接触以与对应的所述孔口处抵接。

10.一种薄膜沉积设备，其特征在于，包括处理气体源以及如权利要求1至9任一项所述的处理装置(100)，所述处理气体源与所述处理装置(100)的壳体(110)的处理腔(114)连通。