[实用新型]光刻定焦系统和光刻设备

权利要求书

1.一种光刻定焦系统，其特征在于，所述光刻定焦系统具有沿光轴方向呈相对设置的物侧和像侧，所述光刻定焦系统包括自物侧至像侧依次设置的第一透镜组、光阑和第二透镜组，所述第一透镜组和所述第二透镜组形成双远心光路，以使得在383±10nm波段下工作的成像清晰，物方和像方的主波长远心度均控制在±0.1°以内，物方有效视场达到φ22.5mm，物方数值孔径为0.025，像方数值孔径可以达到0.5，理论光刻分辨力可达到0.5μm。

2.如权利要求1所述的光刻定焦系统，其特征在于，所述第一透镜组包括第一透镜、第二透镜和第三透镜；

所述第二透镜组包括第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜；

其中，所述第一透镜的光焦度为正；所述第二透镜的光焦度为正；所述第三透镜的光焦度为负；所述第四透镜的光焦度为负；所述第五透镜的光焦度为正；所述第六透镜的光焦度为正；所述第七透镜的光焦度为负；所述第八透镜的光焦度为正；所述第九透镜的光焦度为正；所述第十透镜的光焦度为正；所述第十一透镜的光焦度为正。

3.如权利要求2所述的光刻定焦系统，其特征在于，所述第一透镜、所述第二透镜、所述第三透镜、所述第四透镜、所述第五透镜、所述第六透镜、所述第七透镜、所述第八透镜、所述第九透镜、所述第十透镜、所述第十一透镜均为球面透镜。

4.如权利要求3所述的光刻定焦系统，其特征在于，所述第一透镜的物侧面的曲率半径为R1，像侧面的曲率半径为R2，其中，87.29mm≤R1≤93.29mm，-232.979mm≤R2≤-226.979mm；

所述第二透镜的物侧面的曲率半径为R3，像侧面的曲率半径为R4，其中，16.265mm≤R3≤22.265mm，37.242mm≤R4≤43.242mm；

所述第三透镜的物侧面的曲率半径为R5，像侧面的曲率半径为R6，其中，-170.497mm≤R5≤-164.497mm，7.615mm≤R6≤13.615mm；

所述第四透镜的物侧面的曲率半径为R7，像侧面的曲率半径为R8，其中，-106.266mm≤R7≤-100.266mm，90.635≤R8≤96.635mm；

所述第五透镜的物侧面的曲率半径为R9，像侧面的曲率半径为R10，其中，R9＝1E+18mm，-47.05mm≤R10≤-41.05mm；

所述第六透镜的物侧面的曲率半径为R11，像侧面的曲率半径为R12，其中，66.479mm≤R11≤72.479mm，-130.27mm≤R12≤-124.27mm；

所述第七透镜的物侧面的曲率半径为R13，像侧面的曲率半径为R14，其中，-65.272mm≤R13≤-59.272mm，146.118mm≤R14≤152.118mm；

所述第八透镜的物侧面的曲率半径为R15，像侧面的曲率半径为R16，其中，66.69mm≤R15≤72.69mm，-81.984mm≤R16≤-75.984mm；

所述第九透镜的物侧面的曲率半径为R17，像侧面的曲率半径为R18，其中，38.777mm≤R17≤44.777mm，149.341mm≤R18≤155.341mm；

所述第十透镜的物侧面的曲率半径为R19，像侧面的曲率半径为R20，其中，19.118mm≤R19≤25.118mm，33.744mm≤R20≤39.744mm；

所述第十一透镜的物侧面的曲率半径为R21，像侧面的曲率半径为R22，其中，8.34mm≤R21≤14.34mm，9.056mm≤R22≤15.056mm。