[实用新型]尾气管升降微调装置

权利要求书

1.尾气管升降微调装置，包括安装垫(1)，其特征在于，所述安装垫(1)的顶部固定有金属套(2)，所述金属套(2)的顶部放置有原子层沉积设备尾气管体(3)，所述安装垫(1)的顶部设置有管道安装装置(4)，所述安装垫(1)的底部安装有安装套(5)，所述安装套(5)的内部通过转轴转动连接有滚轮(6)。

2.根据权利要求1所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述管道安装装置(4)包括安装板(41)，所述安装板(41)的内部开设有安装孔(42)，所述安装板(41)的顶部安装有加固套(43)，所述加固套(43)的外侧通过转轴转动连接有转动套(44)，所述加固套(43)的顶部固定有固定螺纹杆(45)，所述固定螺纹杆(45)的外侧螺纹连接有螺纹套(46)，所述加固套(43)的顶部设置有支撑装置(47)，所述安装板(41)的顶部设置有贯穿其底部的升降微调机构(7)。

3.根据权利要求2所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述安装板(41)与所述安装垫(1)之间固定连接，所述转动套(44)的内部开设有通槽，且该通槽的尺寸与所述固定螺纹杆(45)的尺寸适配。

4.根据权利要求2所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述支撑装置(47)包括外壳体(471)，所述外壳体(471)的内底壁设置有支撑弹簧(472)，所述支撑弹簧(472)的顶部连接有活动垫(473)，所述活动垫(473)的顶部固定有贯穿其底部的移动杆(474)，所述外壳体(471)的底部固定有限位套(475)，所述移动杆(474)的顶部安装有支撑块(476)，所述限位套(475)与所述加固套(43)之间固定连接。

5.根据权利要求2所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述升降微调机构(7)包括金属螺母(71)，所述金属螺母(71)的顶部螺纹连接有延伸至底部的螺纹柱(72)，所述螺纹柱(72)的顶部固定有连接套(73)，所述连接套(73)的顶部设置有把手套(74)，所述螺纹柱(72)的底部转动连接有轴承套(75)，所述轴承套(75)的底部固定有支撑套(76)。

6.根据权利要求5所述的尾气管升降微调装置，其特征在于，所述金属螺母(71)和所述安装板(41)之间固定连接，所述螺纹柱(72)的尺寸与所述安装孔(42)的尺寸适配。