[实用新型]一种入口阀

说明书

本申请属于真空设备领域，公开了一种入口阀，包括壳体，壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，第一流通口连接真空设备的进气端，第二流通口连接真空容器；腔体内设膜片，膜片将腔体分隔为第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，弹簧位于第二腔室内，弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡；通过上述设计，使得真空设备在停止工作时，真空设备与真空容器的导通及时断开。

技术领域

本申请涉及真空设备领域，尤其涉及一种入口阀。

背景技术

真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

在现有技术中，真空泵存在一个难以解决的问题，即，真空泵由于自身结构等问题使其在热过载时具有较高的风险，因此，如果在高压力下启动真空泵，真空泵将以较高的功率工作大量时间，此过程中产生的热量可能会导致真空泵内部元器件损毁，因此当真空泵启动时，减小真空入口处压力的波动值尤为关键；

另一方面，当真空泵为注油真空泵，并在真空泵停止工作时，真空泵内部的油气混合物容易受真空泵与真空容器的压力差导致油气混合物倒灌入被抽真空容器，而该问题的现有技术解决方案为，在真空泵的入口通道设置多个组合阀门，组合阀门在真空泵关闭后，经过多个阀门协作，最终断开真空泵与被抽真空容器之间的导通关系，以此确实能够在一定程度上解决上述油气混合物倒灌的问题，但，组合泵一方面提高了整个系统的复杂性，而复杂性的提高往往降低了系统的容错率，同时，组合阀门在成本方面无疑对使用者而言是一个难以忽略的问题。

本申请需要解决的问题：如何开发一种结构简单，同时能够减小真空泵开机时压力波动值的入口阀。

实用新型内容

本申请的目的是提供一种入口阀，该入口阀在真空设备开机时，能够通过自身的结构设计，较为缓慢地拓宽真空设备与被抽真空容器之间的流通路径的截面面积，进而使得真空设备与被抽真空容器之间的流体流量缓慢提升，以此减小真空设备入口处的压力波动；同时，当该入口阀结构简单，一方面，提高了整个系统的容错率，另一方面也降低了整个系统的成本。

为实现上述目的，本申请所采用的技术方案：

一种入口阀，包括壳体，所述壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，所述第一流通口连接外设的真空设备的进气端，所述第二流通口连接外设的真空容器；所述腔体内部设有膜片，所述膜片将腔体分隔为上下排布的第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，所述阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，所述弹簧位于第二腔室内，所述弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；

所述第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；

还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡。

优选地，所述气体通道包括第二管道，所述第二管道一端连接第一腔室，另一端连接第二腔室、真空设备的进气端、第二流通口、第一管道中的任一者；

所述第二管道上设有第一阀门。

优选地，还包括第三管道，所述第三管道一端与大气导通，另一端连接第一腔室、第二腔室中的至少一者；

当第三管道一端与大气导通，另一端连接第二腔室时，第三管道设有第二阀门。

优选地，还包括一端与大气导通的第一支管，所述第一支管设置在第一管道、第二管道至少一者上；