[实用新型]一种入口阀

权利要求书

1.一种入口阀，包括壳体，所述壳体包括位于壳体上部的腔体以及位于腔体下部的第一流通口和第二流通口，所述第一流通口连接外设的真空设备的进气端，所述第二流通口连接外设的真空容器；所述腔体内部设有膜片，所述膜片将腔体分隔为上下排布的第一腔室和第二腔室，还包括阀杆、弹簧，所述阀杆一端与膜片固定连接，另一端设有用于遮挡或暴露第一流通口的阀板，其特征在于，所述弹簧位于第二腔室内，所述弹簧用于提供弹性力以使在第一腔室和第二腔室压力相等时使阀板封闭第一流通口；

所述第二腔室和真空设备的进气端之间设有第一管道；

还包括一可控制开闭的气体通道，所述气体通道用于使第一腔室和第二腔室压力平衡。

2.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述气体通道包括第二管道，所述第二管道一端连接第一腔室，另一端连接第二腔室、真空设备的进气端、第二流通口、第一管道中的任一者；

所述第二管道上设有第一阀门。

3.根据权利要求2所述的入口阀，其特征在于，还包括第三管道，所述第三管道一端与大气导通，另一端连接第一腔室、第二腔室中的至少一者；

当第三管道一端与大气导通，另一端连接第二腔室时，第三管道设有第二阀门。

4.根据权利要求2-3中任一所述的入口阀，其特征在于，还包括一端与大气导通的第一支管，所述第一支管设置在第一管道、第二管道至少一者上；

当第一支管设置于第一管道上时，第一支管设有第三阀门；

当第一支管设置于第二管道上时，第一支管与第二管道连接处设有第四阀门，所述第四阀门为三通阀，当三通阀处于第一状态时，第一腔室与大气导通且不与第二腔室导通；

当三通阀处于第二状态时，第一腔室与第二腔室导通且不与大气导通。

5.根据权利要求1-4任一所述的入口阀，其特征在于，所述第一管道和外设的真空设备导通的一端设有节流阀。

6.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述第一流通口设置于腔体的正下方，所述第二流通口设置于腔体的下方或侧下方，所述第一腔室、第二腔室、第一流通口的中心线在同一直线上；

所述阀板位于第一流通口的下方。

7.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述第一流通口设有环形凸出部，当外设的真空设备停止工作时，所述第一腔室与第二腔室的压力相同，所述弹簧带动阀板上行，且阀板与环形凸出部配合并阻断第一流通口与第二流通口的导通。

8.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述膜片边缘设有环形凸起部，所述第一腔室内壁设有环形凹陷部，所述环形凹陷部与环形凸起部的位置对应。

9.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述弹簧套设在阀杆的外表面，且弹簧的两端分别与第二腔室和膜片固定连接，所述第二腔室设有环形阻挡件，所述环形阻挡件用于限制弹簧在径向的运动。

10.根据权利要求1所述的入口阀，其特征在于，所述真空设备的进气端设有第四管道，所述第四管道用于使真空设备的进气端与大气导通，所述第四管道上设有第五阀门，所述第五阀门为节流阀。