[实用新型]一种硅片腐蚀后快速转运装置

权利要求书

1.一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：该装置包括腐蚀槽（7）、位于腐蚀槽一侧的水槽（8）；所述腐蚀槽和水槽之间设置有动力驱动机构，所述动力驱动机构包括动力输出机构、翻转摆动箱（4），所述动力输出机构通过传动机构与翻转摆动箱驱动连接；所述翻转摆动箱的底部设置有待转运的硅片（6），动力输出机构通过传动机构带动位于翻转摆动箱底部的待转运硅片作翻转运动，将待转运硅片从腐蚀槽转运至水槽。

2.根据权利要求1所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述动力输出机构包括安装座、固定设置在安装座上的驱动电机（1）、位于驱动电机输出轴上的主动齿轮（2）以及与主动齿轮相啮合的从动齿轮（3），所述从动齿轮通过的转动轴转动设置在安装座上，所述转动轴的一端与从动齿轮连接，另一端与传动机构相连接。

3.根据权利要求2所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述传动机构包括摆动臂，所述翻转摆动箱包括倒“凵”型的翻转摆动架（4-3），所述翻转摆动架的左右两侧臂的至少一个侧臂上设置有滑动板（4-2），所述摆动臂的一端与转动轴花键连接，另一端与所述滑动板的铰接连接，并能够在摆动臂转动时带动翻转摆动架绕着转动轴作圆周运动。

4.根据权利要求3所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述翻转摆动架的槽口处设置有硅片放置腐蚀笼（4-1）。

5.根据权利要求1-4任一项所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述动力输出机构的数量为两个，并且对称设置在腐蚀槽与水槽之间。

6.根据权利要求3或4所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述滑动板的顶部还设置有用于限制滑动板运动行程的限位臂架（5）。

7.根据权利要求6所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述滑动板与摆动臂的铰接处设置有引导销，所述限位臂架包括限位架体（5-1），所述限位架体的左右两侧设置有与引导销滚动配合的限位导轮（5-2）。

8.根据权利要求3所述的一种硅片腐蚀后快速转运装置，其特征在于：所述摆动臂的摆动范围为0-180°。